מחמם אפיית פוטורזיסט עמיד

ברצפת הליתוגרפיה, אפיית ריכוך שסטייה של 0.2°C בלבד מספיקה כדי לגרום להטיית מימדים קריטיים ולהגברת מחוספסות קצוות הקווים — ובפתאומיות אתם מפסידים הרבה...