جلوگیری از هدر رفتن گرما: روش بهتری برای فرآیند خشک کردن ویفرها
مشکل لامپهای مادون قرمز استاندارد این است که آنها گرما را در تمام جهات پخش میکنند؛ یعنی گرما از تمام زوایا ساطع میشود.
وقتی که مشغول خشک کردن ویفرها هستید، هر انرژیای که به ویفر برخورد نمیکند، در واقع هدر رفته است. اما مشکل اینجاست که این گرمای اضافی باعث گرم شدن داخل دستگاه میشود؛ این امر باعث میشود که دستگاه برای استفاده خطرناک شود، همچنین میتواند باعث تغییر شکل بدنه دستگاه نیز شود. این وضعیت مناسب نیست.
رساندن گرما به جای مناسب آن
برای حل این مشکل، از منعکسکنندههای پارابولیک یا الیپتیک با بازتاب بالا در لامپ استفاده میکنیم.
میتوانید آن را مانند یک چراغ قوه در نظر بگیرید؛ به جای اینکه امواج مادون قرمز در همه جا پخش شوند، منعکسکننده تمام انرژیهایی که در جهت نادرست حرکت میکنند را جذب کرده و آنها را دوباره به سمت ویفر میفرستد. در نتیجه، پرتو گرمایی دقیقتر و متمرکزتری به دست میآید.
جلوگیری از «اثر فر»
اگر از منعکسکننده استفاده نکنید، بدنه دستگاه به یک منبع گرمایی عظیم تبدیل میشود. وقتی دیوارههای دستگاه بسیار گرم میشوند، سیستم خنککنندگی دستگاه ناتوان میشود. با استفاده از منعکسکنندههای آلومینیومی یا طلاکوبیشده، میتوانیم انرژی را در منطقه خشک کردن نگه داریم؛ در نتیجه، دستگاه خنکتر میماند و انرژی دقیقاً به جایی میرود که باید برود.
معایب این روش
البته این روش کاملاً بینقص نیست؛ چند نکته وجود دارد که باید در نظر گرفته شود.
اولاً، این منعکسکنندهها فضای بیشتری را اشغال میکنند؛ بنابراین باید ابعاد محفظه دستگاه را بررسی کنید تا مطمئن شوید که این منعکسکنندهها در آن جا جا میشوند.
همچنین، این منعکسکنندهها نیاز به تمیزی دارند؛ اگر ذراتی روی سطح آنها تجمع کند، تراکم گرما کاهش خواهد یافت. نمیتوانید این منعکسکنندهها را بدون نگهداری رها کنید؛ باید برنامهای برای تمیز کردن یا تعویض آنها داشته باشید تا زمان خشک کردن ویفرها تغییر نکند.
خبر خوب این است که این منعکسکنندهها میتوانند مستقیماً به کنترلرهای مادون قرمز فعلی دستگاه متصل شوند؛ در نتیجه، بدنه دستگاه خنکتر میماند و ویفرها نیز سریعتر به دمای مورد نیاز میرسند.