چرا ما از روش خشککردن با نور مادون قرمز برای ویفرها استفاده میکنیم؟
بیایید درباره خشککردن ویفرها صحبت کنیم. مدتهاست که از روش گرمایش هوای گرم برای خشککردن ویفرها استفاده کردهایم؛ یعنی هوای داخل یک جعبه بزرگ گرم میشود تا ویفر خشک شود. اما این روش مانند گرم کردن کل خانه فقط برای گرم کردن یک تکه پیتزا است.
به همین دلیل، ما به استفاده از نور مادون قرمز روی آوردهایم. در این روش، به جای استفاده از هوای گرم، نور مادون قرمز مستقیماً حرارت را به سطح ویفر میفرستد. این روش تمیزتر، سریعتر است؛ همچنین به دستیابی به اهداف انرژی سبز و کاهش استفاده از سرب کمک میکند.
عدم هدررفت انرژی
فکر کنید به یک فر هوای گرم سنتی؛ شما مقدار زیادی انرژی را صرف گرم کردن دیوارها و فضای خالی داخل فر میکنید. این کار بیفایده است.
اما در روش نور مادون قرمز، انرژی مستقیماً به سطح ویفر ارسال میشود. تفاوت سرعت بسیار زیاد است؛ در این روش، نیازی نیست ساعتها منتظر بمانید تا ویفر گرم شود؛ کافی است چند ثانیه صبر کنید. با کاهش زمان گرم شدن، هزینه برق نیز کاهش مییابد، زیرا دیگر نیازی نیست کیلوواتها انرژی صرف گرم کردن اتاق شود.
مدیریت مشکلات پیچیده
اگر از لحیمهای بدون سرب یا رزینهای سازگار با محیط زیست استفاده میکنید، میدانید که این مواد نیاز به دمای دقیقی دارند. اگر دما مناسب نباشد، ویفر تحت تأثیر قرار میگیرد.
اما با استفاده از نور مادون قرمز، میتوانیم طول موج نور را تنظیم کنیم؛ یعنی میتوانیم از موج کوتاه یا موج متوسط استفاده کنیم تا با لایه شیمیایی مورد استفاده سازگار شویم. علاوه بر این، از آنجایی که در این روش هیچ تجزیه شیمیایی یا استفاده از حلالهای مضری وجود ندارد، این روش برای رعایت استانداردهای زیستمحیطی بسیار مناسب است. هیچ گونه آلایندگی یا عناصر مبتنی بر سرب وجود ندارد؛ فقط حرارت تمیز.
معایب (چون همیشه معایبی وجود دارد)
البته، این روش کاملاً بینقص نیست. چگالی حرارت بسیار بالاست؛ بنابراین اتفاقات بسیار سریع رخ میدهند.
اگر کنترلکننده PID به درستی تنظیم نشود، ممکن است دما بیشتر از حد مورد نظر شود. یک اشتباه کوچک میتواند باعث آسیب به ویفر شود. بنابراین، نیاز به سنسورهای با دقت بالا برای کنترل دما وجود دارد.
ما این سیستمها را طوری طراحی کردهایم که بتوانند جایگزین سیستمهای قدیمی گرمایشی شوند. در نتیجه، فضای کمتری لازم است و هزینه برق نیز کاهش مییابد. تنها نکته مهم این است که مطمئن شوید که فنهای خنککننده بتوانند حرارت اضافی ناشی از لامپها را کنترل کنند؛ در غیر این صورت، دما بیش از حد بالا خواهد رفت.