Ihren Reinraum auf ein hohes Niveau halten
In der Welt der Waferproduktion ist bereits ein einziger Staubkorn kein kleines Problem – es handelt sich dabei vielmehr um einen „Todesstoß“ für eine ganze Charge an Chips. Das ist äußerst belastend. Die meisten Heizelemente sind in solchen Umgebungen ein Albtraum – sie geben Gase ab oder geben Partikel ab, genau dann, wenn man das nicht möchte.
Deshalb verwenden wir hochreinen synthetischen Quarz-IR-Lampen. Diese verhalten sich nicht so.
Der Vorteil des Quarzes
Wir verwenden gefüllten Siliziumdioxid, der Hitze standhalten kann, ohne zu kristallisieren. Wenn man billiges Glas oder minderwertigen Quarz verwendet, beginnen die Lampen beim Erhitzen und Abkühlen zu bröckeln oder Staub abzugeben. Das darf auf keinen Fall passieren. Unsere Lampen bleiben glatt. Da die IR-Strahlung direkt auf die Substratoberfläche trifft, gibt es keinen Zwischenmittel, der Verunreinigungen auf die Waferoberfläche bringen könnte.
Individuelle Anpassung an Ihre Geräte
Halbleitergeräte sind meist sehr eng gestaltet. Deshalb haben wir die Geometrie der Filamente angepasst, damit die Wärme gleichmäßig auf die Wafer aufgeteilt wird. Es entstehen keine heißen Punkte oder ungleichmäßige Temperaturen – und vor allem: Die Wafer verformen sich während des Hitzebehandlungsprozesses nicht.
Auch bei den Abschlusssiegeln legen wir großen Wert auf Präzision. Wir sorgen dafür, dass das innere Halogengas im Inneren der Lampe bleibt und nicht in den Vakuumraum gelangt.
Die Herausforderung: Die Siegel müssen fest sitzen
Diese Siegel müssen wirklich fest sitzen. Wenn eines versagt, geht die Lampe schnell kaputt. Das ist ein Kompromiss. Wir bevorzugen es, dass die Lampe schnell ausfällt, anstatt dass ein Leck Ihren Reinraum zerstört. Deshalb muss man besonders vorsichtig mit ihnen umgehen. Eine präzise Ausrichtung ist entscheidend, um dem Quarz keine übermäßige Belastung zuzufügen.
In Betrieb nehmen
Das Anschließen dieser Lampen an Ihre bestehenden PID-Controller ist einfach. Da Quarz die Hitze nicht lange speichert, können diese Lampen schnell erhitzt und abgekühlt werden. Dadurch haben Sie mehr Kontrolle über die Temperatur der Wafer.
Wenn eine Lampe schließlich ihren Grenzwert erreicht hat, kann sie einfach ausgetauscht werden. Es handelt sich dabei um einen einfachen Ersatzvorgang. Ein Hinweis für Ihre Techniker: Nutzen Sie stets lintfreie Tücher sowie Isopropanol, um die Lampen vor dem Einbau zu reinigen. Halten Sie die Lampen sauber – dann funktionieren sie einwandfrei.