Hören Sie auf, Ihre Maschine zu heizen – heizen Sie stattdessen den Sensor.
Wenn Sie Wasserstoffsensoren herstellen, möchten Sie auf keinen Fall, dass die gesamte Fertigungskammer zu einem Ofen wird.
Die herkömmliche Beheizung ist ungünstig: Die Wärme verteilt sich überall. Dadurch geht eine Menge Energie verloren – nur um die Innenwände der Maschine zu erwärmen. Das ist ineffizient und außerdem sehr lästig.
Deshalb verwenden wir Richtstrahlungs-Infrarotlampen. Anstatt die Wärme in alle Richtungen abzustrahlen, lenken wir sie direkt auf das Substrat. Der Sensor bekommt so die benötigte Wärme, während das Gehäuse kühl bleibt. Ihre Ausrüstung hält länger, und Ihr Team muss keine Gefahr laufen, sich durch Berührung des Gehäuses zu verbrennen.
Wie die Wärme tatsächlich übertragen wird
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotemitter, um die Energie genau dorthin zu leiten, wo sie benötigt wird – auf das Wafer.
Die meisten Heizer strahlen Wärme in einem 360-Grad-Bereich ab. Nicht so diese Lampen. Wir verwenden spezielle Reflektoren, um die thermische Energie in eine bestimmte Richtung zu lenken. Das ist der Unterschied zwischen einer Glühbirne und einer Taschenlampe: So können Sie eine schnelle Erhitzung erreichen, ohne dass die Innenseite der Maschine beschädigt wird.
Die schwierige Seite
Hocheffiziente Lampen sind zwar ideal für eine schnelle Aushärtung oder Verdampfung, doch sie haben einen Nachteil: Wenn man die Leistung zu hoch einstellt, kann man leicht die gewünschte Temperatur überschreiten. Man möchte schließlich nicht, dass der Sensor beschädigt wird. Um alles unter Kontrolle zu halten, empfehle ich dringend, die Lampen mit einem schnell reagierenden Pyrometer sowie einem geschlossenen PID-Regler zu kombinieren.
Und noch etwas: Überprüfen Sie Ihr Kühlsystem. Wenn es nicht in der Lage ist, eine hohe Wärmebelastung zu bewältigen, kommt es zu Temperaturunterschieden, was die Präzision beeinträchtigt.
So funktioniert es in Ihrer Werkstatt
Das Beste daran: Da wir keine „Überhitzungswärme“ in das Gehäuse abgeben, benötigen Sie kein riesiges, sperriges Kühlsystem, das Platz wegnimmt.
Die Verkabelung ist einfach: Solange die Spannung den Anforderungen des Emitters entspricht, kann die Lampe direkt in Ihren bestehenden Stromkreis eingesteckt werden.
Es funktioniert einfach: Die Wärme bleibt auf dem Bauteil, die Maschine bleibt kühl – und Ihre Arbeitsumgebung bleibt sicher. Einfach so.