Auf dem Produktionsboden steht die Strippkammer zunächst untätig da, bis sie die erforderliche Temperatur erreicht hat. Wenn der Heizkreis nicht richtig funktioniert, bleiben Rückstände zurück – und die nächste Schicht haftet nicht richtig. Es ist daher notwendig, eine genaue Temperaturregulierung zu haben, die bei jeder Behandlung gleichbleibt.
Was wirklich wichtig ist
Wir haben den Heizkreis für das Entfernen des Photoresists mit Kurzwellen-Infrarot-Emittern aus Quarz gebaut. Diese reagieren schnell und ermöglichen eine präzise Kontrolle der Temperatur. Die Genauigkeit liegt bei ±0,1 °C auf Waferebene – dadurch bleiben die Parameter während der gesamten Bearbeitung konstant. Der Heizkreis kann in Reinräumen der Klasse 1–100 eingesetzt werden. Wir überprüfen außerdem, ob keine Partikel entstehen, indem wir eine kontinuierliche Überwachung durchführen. Im Einsatz kann der Heizkreis 24/7 arbeiten – mit einer Lebensdauer von über 5.000 Stunden und einer Abweichung der Leistung von weniger als 5 %. Die Betriebsbedingungen umfassen eine Eingangsspannung von 208–240 V, eine kompakte Bauweise, die auch für Nachrüstungen geeignet ist, sowie Standardanschlüsse zwischen Quarz und Kammer.
Warum das wichtig ist
Das Entfernen des Photoresists ist im Grunde ein thermischer Prozess. Wenn der Heizkreis schnell stabilisiert, wird die Zeit, in der die Kammer untätig ist, reduziert – und es müssen keine Wafers wegen unvollständiger oder übermäßiger Behandlung weggeworfen werden. Eine präzise Temperaturregulierung sorgt außerdem dafür, dass die kritischen Abmessungen nach der Lithografie konstant bleiben. Dadurch kann man weniger Chemikalien verwenden. Die Vorteile sind eine vorhersehbare Bearbeitungszeit, weniger Nacharbeiten und echte Energieeinsparungen durch kürzere Behandlungszeiten.
Was man bei der Installation beachten muss
Stellen Sie sicher, dass die Verbindungsflächen der Kammer richtig passen und dass die Ausrichtung der Emittoren exakt stimmt. Kurzwellen-Infrarot-Heizer heizen zwar schnell, doch die heiße Zone muss ordnungsgemäß abgeschirmt werden, damit die Polymerdichtungen nicht beschädigt werden. Wenn Sie ein neues Rezept verwenden, planen Sie eine kurze Kalibrierphase ein. Überprüfen Sie außerdem, ob der Heizkreis mit Ihren Partikelzählmethoden kompatibel ist. Wir senden Ihnen im Vorfeld die notwendigen Pläne, damit Risiken bei der Integration vermieden werden können.