In der Fertigungsstätte hängt das Gelingen der Herstellung von Biosensoren von der thermischen Reproduzierbarkeit ab. Eine Abweichung von 30 °C während des Backvorgangs des Fotoleitmittels kann dazu führen, dass die Kontrolle über die Breite der Linien nicht mehr möglich ist. Zudem kann die Entstehung von Partikeln während des intensiven Backvorgangs dazu führen, dass die Ausbeute massiv sinkt. Wir haben daher ein IR-Lampensystem entwickelt, um diese Unsicherheiten auszuschließen.
Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden Kurzwellen-NIR-Emitter mit Quarzoptiken – dadurch wird die Wärme direkt auf den Wafer übertragen. Dadurch entsteht eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf dem Wafer innerhalb von ±0,1 °C im gesamten aktiven Bereich. Dadurch können sowohl der sanfte als auch der intensive Backvorgang immer wieder verwendet werden. Die Anlage arbeitet 24/7 ohne Unterbrechungen und bleibt außerdem partikelfrei – voll kompatibel mit Reinräumen der Klassen 1–100.
Warum das für die Herstellung von Biosensoren geeignet ist
Bei der Herstellung von Biosensoren werden dünne Schichten sowie feine Strukturen verwendet, die besonders empfindlich auf Belastungen reagieren. Wenn der Backvorgang nicht stabil ist, kann das Fotoleitmittel schmelzen. Unsere Lampen sorgen für eine genaue Temperaturregulierung, sodass die Lithografie- und Ätzprozesse konstant bleiben. Dadurch sinken die Schwankungen in der Linienqualität und die Rauheit der Linienkanten wird geringer. Die schnelle Temperaturanhebung verkürzt die Produktionszeit, ohne dass die Kontrolle beeinträchtigt wird. Zudem senkt die Energieeffizienz die Kosten pro Wafer. Das Ergebnis sind eine höhere Erstproduktionsausbeute sowie weniger Nacharbeiten.
Was man beachten muss
Die Leistung der Lampen hängt von der Entfernung zwischen Sender und Wafer sowie von der Sauberkeit des Quarzfensters ab. Deshalb benötigt die Anlage eine feste Fokallänge sowie regelmäßige Wartungsarbeiten. Die Integration ist einfach, doch das thermische Profil muss an das spezielle Fotoleitmittel sowie das Substrat angepasst werden. Vor der Serienproduktion sollte zunächst eine kurze Qualitätsprüfung durchgeführt werden, um die Parameter zu bestimmen.