Auf der Lithografiefläche ist die Temperaturkontrolle nicht nur wichtig – sie ist auch eine Art „Versprechen“ bezüglich der Dimensionen der Bauteile. Wenn die Temperatur um 0,5 °C abweicht, geht die genaue Kontrolle der Dimensionen verloren. Die Wiederholgenauigkeit wird dadurch unzuverlässig. TEL-Heizlampen dienen dazu, diese Unsicherheiten aus dem thermischen Prozess herauszunehmen.
Was wirklich wichtig ist Wir verwenden Kurzwellinfrarot-Kvartz-Halogenemitter, die auf die TEL-Thermomodule abgestimmt sind. Dadurch entsteht eine schnelle Temperaturerhöhung bei gleichzeitig geringer thermischer Trägheit. Auf der Oberfläche der Wafer bleibt die Homogenität bei ±0,1 °C – somit bleiben sowohl die Profile für sanfte als auch für intensive Behandlungen in den vorgegebenen Grenzen, Schuss für Schuss.
Die Anordnung der Heizlampen ist für Reinräume aller Klassen von Klasse 1 bis Klasse 100 geeignet. Die verwendeten Materialien und Verbindungen sollen eine Ausgasung sowie die Entstehung von Partikeln verhindern. Bei der Beurteilung der Stabilität des Outputs messen wir diesen in Abhängigkeit von Zeit und Anzahl der Durchläufe – nicht nachMarketingkriterien.
Warum das wichtig ist beim Fotolackverarbeitungsprozess Wärme ist ein entscheidender Faktor bei der Verarbeitung von Fotolacken. TEL-Heizlampen sorgen dafür, dass die Temperatur konstant bleibt – dadurch werden Abweichungen im CD-Wert sowie Defekte durch unvollständige oder übermäßige Aushärtung vermieden. Eine präzisere Temperaturkontrolle ermöglicht es, den Prozessablauf zu optimieren und die Ausschussrate zu senken, ohne an der Chemie selbst etwas ändern zu müssen.
Außerdem wird dadurch auch die Betriebszeit erhöht. Die Heizlampen erreichen schnell die gewünschte Temperatur und halten sie dort – dadurch wird der Energieverbrauch reduziert. Zudem sorgt die lange Lebensdauer der Lampen dafür, dass keine Unterbrechungen im Betrieb auftreten.
Was man beachten muss Bei der Installation müssen exakte mechanische und elektrische Anpassungen vorgenommen werden, damit die Lampen richtig funktionieren. Die Leistung hängt von der Ausrichtung der Lampen sowie vom Luftstrom ab – daher muss der Luftstrom genau nach Vorschrift geregelt werden.
Betrachten Sie die Lampen als kalibrierte Instrumente – nicht als Verbrauchsmaterialien. Planen Sie Kalibrierungen zu bestimmten Zeiten ein, damit die Homogenität von ±0,1 °C erhalten bleibt.