Haltense die Scherben auf: Wie man seine Wafer sauber hält, wenn die Infrarotlampen versagen
Wenn Sie bereits in der Verarbeitung von Halbleitern oder Sensoren gearbeitet haben, kennen Sie dieses Problem nur zu gut. Eine Infrarotlampe mit hohem Leistungsbedarf geht plötzlich kaputt. In einem Augenblick ist Ihre Produktionslinie nicht mehr funktionsfähig – es entsteht eine Katastrophe.
Es geht nicht nur darum, dass die Wärmeversorgung ausfällt. Auch Glasscherben und chemische Rückstände können die Wafer beschädigen. Ein defekter Lampenkolben kann innerhalb von Sekunden die gesamte Produktion zerstören. Das ist wirklich ein Albtraum, den man unbedingt vermeiden möchte.
Warum gehen diese Lampen eigentlich kaputt?
Meistens wird der Quarzkörper einfach bis an seine Grenzen belastet. Der Defekt tritt in der Regel an Stellen auf, an denen Druck entsteht oder wo Hitzepunkte entstehen. Wenn zu viel Energie in einen zu dünnen Kolben geleitet wird, kann der Quarzkörper den Druck nicht mehr aushalten.
Wir haben festgestellt, dass der Einsatz von hochreinem synthetischem Quarz sehr hilfreich ist. Dieser kann bei starken Temperaturschwankungen ruhig bleiben – dadurch bleibt alles stabiler.
Ein Sicherheitsnetz schaffen
Um die Scherben von den Wafern fernzuhalten, verwenden wir eine Art „Schutzschicht“. Die Infrarotlampen werden in einen hitzebeständigen Schutzmantel eingehüllt. Das gleicht einer Art Schutzschild. Falls die Lampe versagt, fängt der Mantel alle Scherben auf. Der Schmutz bleibt im Mantel – so bleiben die Wafer sauber.
Hier ist noch ein Tipp: Überprüfen Sie Ihre Anschlüsse. Wenn sie locker sind, können Blitze entstehen. Diese Blitze können dazu führen, dass der Kolben zerbricht. Die Verwendung präzise passender Anschlüsse sorgt dafür, dass die Energie reibungslos fließen kann – somit werden solche Defekte vermieden.
Der Preis für den Schutz
Es gibt jedoch einen Haken: Durch den Einsatz eines Schutzmantels entsteht eine Barriere zwischen der Wärme und den Wafern. Dadurch geht etwas von der Infrarotenergie verloren. Das ist zwar kein katastrophales Problem, aber man merkt es trotzdem. Wahrscheinlich müssen Sie die Leistungseinstellungen erhöhen oder die Wafer etwas länger liegen lassen, um das gleiche Ergebnis zu erzielen.
Und noch eines: Achten Sie auf Ihre Kühlventilatoren. Wenn die Gehäuse zu heiß werden, kann der Schutzmantel selbst beschädigt werden. Sorgen Sie dafür, dass die Luft zirkuliert – dann hält Ihr Schutzsystem genauso lange wie die Lampen selbst.