Giảm lượng carbon trong phòng sạch: Tại sao việc sử dụng đèn hồng ngoại chống thấm nước lại hiệu quả?
Hãy thành thật mà nói, quy trình rửa các tấm wafer bằng chất lỏng thực sự tiêu tốn khá nhiều năng lượng. Trong thời gian dài, chúng ta vẫn chấp nhận việc sử dụng nhiệt để làm khô các tấm wafer. Nhưng đó là cách tiêu tốn năng lượng một cách vô ích, chỉ để loại bỏ vài giọt nước trên bề mặt wafer mà thôi.
Chúng tôi đã tìm ra cách tốt hơn: sử dụng đèn hồng ngoại chống thấm nước.
Không cần phải làm nóng không khí nữa
Đèn hồng ngoại không cần phải làm nóng không khí trong phòng. Thay vào đó, chúng truyền năng lượng trực tiếp lên bề mặt wafer. Đây là cách hiệu quả hơn nhiều. Bạn không cần phải tiêu tốn nhiều năng lượng để làm ấm toàn bộ căn phòng nữa; bạn chỉ cần tập trung nhiệt lượng vào vị trí cần xử lý. Khi nhiệt lượng được tập trung như vậy, mức tiêu thụ năng lượng sẽ giảm xuống. Nếu bạn muốn xây dựng một “nhà máy xanh”, đây chắc chắn là cách hiệu quả nhất để giảm lượng carbon thải ra.
Thiết kế dành cho môi trường ẩm ướt
Thông thường, việc sử dụng đèn công suất cao trong quá trình rửa wafer có thể gây ra nhiều vấn đề. Độ ẩm cao và nước bắn lên đèn có thể khiến các ống thủy tinh bị nứt hoặc gây ra hiện tượng chập điện. Chúng tôi đã giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng lớp phủ chống thấm nước và các bộ phận chống ẩm bảo vệ đèn. Nhờ đó, nước không thể tiếp xúc với các điện cực của đèn. Điều này giúp đèn có thể hoạt động tốt trong môi trường ẩm ướt mà không bị hỏng sau vài tuần.
Nhược điểm (vì luôn có những nhược điểm)
Tôi sẽ không nói rằng đây là giải pháp hoàn hảo. Việc sử dụng đèn hồng ngoại công suất cao đòi hỏi bạn phải xem xét lại hệ thống làm mát của mình. Vì nhiệt lượng tập trung cao, wafer sẽ khô rất nhanh. Nhưng nhiệt lượng cao này có thể gây áp lực lên các cảm biến hoặc các bộ phận bằng nhựa xung quanh. Bạn có thể cần tăng cường hệ thống quạt làm mát để duy trì nhiệt độ ổn định. Đây là điều chỉnh nhỏ, nhưng lại rất cần thiết.
Kết luận
Kết quả là thời gian xử lý wafer sẽ giảm đi. Khi wafer khô nhanh hơn, bạn có thể xử lý nhiều wafer hơn trong cùng một khoảng thời gian. Bạn cũng sẽ tiêu thụ ít điện năng hơn cho mỗi wafer được xử lý. Đó chính là cách để giảm lượng carbon thải ra từ mỗi wafer. Chỉ cần kết nối đèn với bộ điều khiển PID để kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác, bạn đã có một giải pháp hiệu quả để đạt được mục tiêu bền vững mà không ảnh hưởng đến hiệu suất sản xuất. Rất đơn giản thôi.