Làm thế nào để tăng nhiệt độ lên các tấm wafer mà không gây lãng phí năng lượng?
Khi làm việc với các tấm wafer bán dẫn, việc bị ô nhiễm bởi chất hóa học là một vấn đề nghiêm trọng. Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng các bóng đèn hồng ngoại không chứa ozone. Nhưng thách thức thực sự không phải là việc tạo ra bao nhiêu nhiệt lượng, mà là làm thế nào để toàn bộ năng lượng đó được truyền vào tấm wafer, thay vì bị lãng phí.
Đó chính là lúc các tấm phản xạ được phủ vàng phát huy tác dụng.
Tại sao lại chọn vàng?
Hầu hết mọi người đều sử dụng nhôm, nhưng nhôm lại hấp thụ quá nhiều năng lượng hồng ngoại. Vàng thì khác; nó có khả năng phản xạ ánh sáng hồng ngoại một cách hiệu quả. Thay vì lãng phí năng lượng để làm nóng thân máy, lớp vàng này giúp truyền năng lượng trực tiếp xuống tấm wafer. Bạn sẽ nhận được nhiều nhiệt lượng hơn từ mỗi watt năng lượng bạn sử dụng. Đó chính là cách thông minh để sử dụng năng lượng.
Lưu ý về nhiệt độ
Vì chúng ta sử dụng ống thủy tinh không chứa ozone, nên tia sáng có bước sóng 185nm sẽ bị loại bỏ. Điều này giúp ngăn chặn sự xuất hiện của khí O3 trong buồng làm việc – điều rất quan trọng trong mọi phòng sạch.
Nhưng có một điểm cần lưu ý: khi kết hợp các bóng đèn này với các tấm phản xạ vàng, mật độ nhiệt sẽ tăng lên đáng kể. Bạn cần chú ý đến hệ thống làm mát. Nếu hệ thống làm mát không đủ mạnh, các bộ phận của bóng đèn có thể bị hư hỏng. Đó là một sai lầm phổ biến, nhưng lại gây ra chi phí cao.
Cách thiết lập thực tế
Yếu tố quan trọng nhất chính là khoảng cách giữa bóng đèn và tấm wafer. Chúng ta cần giữ khoảng cách càng gần càng tốt, vì như vậy nhiệt lượng sẽ không bị lan tỏa quá nhiều. Nếu bạn thay thế bộ phận bằng nhôm bằng bộ phận được phủ vàng, bạn sẽ cảm nhận được sự khác biệt ngay lập tức. Tấm wafer sẽ đạt đến nhiệt độ mong muốn nhanh hơn. Điều này giúp rút ngắn thời gian xử lý và tăng năng suất.
Chỉ có một điều cần lưu ý: hãy giữ cho các tấm phản xạ luôn sạch sẽ. Một vết dầu nhỏ hoặc dấu vân tay trên bề mặt vàng cũng có thể gây ra những điểm lạnh, làm mất đi tính đồng đều về nhiệt độ. Hãy chăm sóc chúng cẩn thận, và chúng sẽ giúp bạn đạt được hiệu suất tốt nhất.