Trong quy trình sản xuất bộ cảm biến sinh học, chất lượng của các wafer phụ thuộc rất nhiều vào khả năng duy trì nhiệt độ ổn định. Sự thay đổi nhiệt độ 30 m°C trong quá trình nung wafer có thể làm mất kiểm soát độ dày của các đường kẻ trên wafer; việc tạo ra các hạt vật chất trong quá trình nung cũng có thể làm giảm tỷ lệ thành phẩm. Chúng tôi đã thiết kế hệ thống đèn hồng ngoại nhằm loại bỏ những yếu tố gây bất ổn này.
Điều quan trọng nhất Chúng tôi sử dụng các nguồn sáng bước sóng ngắn kết hợp với ống kính thạch anh, giúp nhiệt được truyền trực tiếp vào wafer – một cách nhanh chóng và hiệu quả, mà không gây ra sự dao động nhiệt độ. Kết quả là độ đồng đều về nhiệt độ trên toàn bộ diện tích wafer đạt mức ±0,1°C. Điều này giúp cho quá trình nung diễn ra đồng đều từ lô này sang lô khác. Thiết bị này có thể hoạt động 24/7 mà không cần downtime, đồng thời không tạo ra các hạt vật chất – rất phù hợp với các môi trường sản xuất có chuẩn sạch từ cấp độ 1 đến 100.
Tại sao nó phù hợp với việc sản xuất bộ cảm biến sinh học Trong quy trình sản xuất bộ cảm biến sinh học, các lớp mỏng và các chi tiết nhỏ rất dễ bị ảnh hưởng bởi áp lực nhiệt. Nếu nhiệt độ trong quá trình nung không ổn định, chất photoresist có thể bị tan chảy. Hệ thống đèn của chúng tôi giúp duy trì nhiệt độ ổn định, từ đó giúp quá trình in ấn và khắc diễn ra một cách đồng đều. Điều này giúp giảm độ biến thiên về kích thước các đường kẻ trên wafer, đồng thời giúp giảm độ thô của các cạnh đường kẻ. Việc tăng nhiệt độ nhanh giúp rút ngắn thời gian xử lý, đồng thời giúp giảm chi phí sản xuất mỗi wafer. Kết quả là tỷ lệ thành phẩm cao hơn và ít phải tái sản xuất hơn.
Những điều cần lưu ý Công suất của đèn phụ thuộc vào khoảng cách giữa nguồn sáng và wafer, cũng như mức độ sạch sẽ của ống kính thạch anh. Do đó, thiết bị cần có khoảng cách tập trung cố định và cần được kiểm tra định kỳ. Việc tích hợp thiết bị này khá đơn giản, nhưng nhiệt độ cần được điều chỉnh sao cho phù hợp với loại chất photoresist và chất liệu của wafer. Hãy tiến hành kiểm tra ban đầu để đảm bảo mọi thứ hoạt động ổn định trước khi bắt đầu sản xuất hàng loạt.