Xem chiếc thuyền thạch anh trượt qua các bước nhiệt trên sàn fab, bạn sẽ hiểu được những gì đang bị đe dọa. Nếu đèn không phát ra đúng cách, bạn sẽ phải đối mặt với viền cạnh, độ bám dính yếu, hoặc độ ẩm không bao giờ thực sự biến mất. Tỉ lệ sản xuất sẽ thể hiện sau vài giờ, và bạn sẽ phải đuổi theo nó. Chúng tôi đã chế tạo đèn sưởi thuyền thạch anh của mình để loại bỏ sự suy đoán trong việc làm khô wafer, nướng mềm photoresist và nướng cứng.
Điều quan trọng trên dây chuyền là kiểm soát mà bạn có thể chứng minh. Các đèn hồng ngoại sóng ngắn của chúng tôi phát nhiệt nhanh và trực tiếp, với độ đồng nhất ở mức wafer trong khoảng ±0.1°C trên toàn bộ thuyền. Bao thạch anh giữ sạch, và hình học của đèn phù hợp với các giá đỡ tiêu chuẩn để nhiệt đi đến wafer, không phải vào phần cứng. Kết quả? Các hồ sơ photoresist mà bạn có thể tin tưởng—nướng mềm loại bỏ dung môi một cách sạch sẽ, và nướng cứng không bị tràn hay da.
Cửa sổ quá trình được thu hẹp, và ngân sách khuyết tật cũng giảm theo. Bạn có thể nhắm mục tiêu nhanh hơn, tiêu thụ ít năng lượng hơn cho mỗi mẻ, và giữ sự kiện hạt xuống thấp vì đèn không phát sinh hạt trong các môi trường Class 1–100. Nó hoạt động 24/7 với đầu ra ổn định, hỗ trợ ngân sách nhiệt chặt chẽ hơn trong quá trình in lithography và các bước phủ theo sau.
Một lưu ý thực tiễn: lắp đặt và căn chỉnh đèn với thuyền một cách chính xác, và giữ cho gương phản xạ sạch. Đặt một mốc cài đặt ngắn và một khoảng thời gian kiểm tra định kỳ. Làm như vậy, bạn sẽ thấy lợi ích trong việc kiểm soát kích thước quan trọng nhất quán và tỉ lệ sản xuất lần đầu cao hơn.