Sınıf 100 temiz oda koşullarını gerçekten korumak
Wafer üretiminde, tek bir toz parçacığı bile sadece rahatsız edici bir unsur değildir; aynı zamanda tüm çip partilerinin bozulmasına neden olabilir. Bu durum oldukça stresli bir durumdur. Bu tür ortamlarda kullanılan ısıtıcı elemanlar da sorun yaratır; çünkü istemediğiniz anda gaz salgılayabilir veya parçacıklar saçabilirler.
İşte bu yüzden yüksek saflıkta sentetik kuvars IR lambalarını tercih ediyoruz. Bu lambalar böyle sorunları yaşatmaz.
Kuvarsın avantajları
Isıya dayanabilen ve kristalleşmeyen silika kullanıyoruz. Eğer ucuz cam veya düşük kaliteli kuvars kullanılırsa, tüpler ısındıkça ve soğudukça parçalanır veya toz oluşur. Bunu kabul edemeyiz.
Tüplerimiz pürüzsüz kalır. IR radyasyonu doğrudan yüzeye ulaştığı için, yüzeye kirlerin bulaşmasına imkan yoktur.
Araçlarla uyumluluk
Yarı iletken araçlar oldukça dar alanlarda kullanılır. Bu yüzden ısıyun yüzeye eşit şekilde yayılmasını sağlamak için filamentlerin geometrisini ayarlıyoruz. Sıcak noktalar olmaz, tuhaf gradyanlar olmaz ve en önemlisi, fırınlama veya kurutma sırasında bükülme olmaz.
Ayrıca, uç kısımların sızdırmazlığı konusunda da çok dikkatliyiz. İçerideki halojen gazının lambanın içinde kalmasını sağlıyoruz.
Ancak burada bir dezavantaj var: Bu sızdırmazlık elemanları oldukça sıkıdır. Eğer biri bozulursa, lamba hızla yanar. Bu birtrade-off durumudur. Lambanın hızla yanmasını tercih ederiz ki temiz odanız zarar görmesin. Bu yüzden bu elemanlara dikkatli davranmalısınız. Kuvars üzerinde aşırı baskı oluşturmamak için hassas bir hizalama gereklidir.
Kullanımı
Bu lambaları mevcut PID kontrol cihazlarına bağlamak oldukça basittir. Kuvars uzun süre ısıyı tutamadığı için, bu lambalar hızla ısınır ve soğur. Bu sayede yüzeyin termal durumu üzerinde daha fazla kontrol sahibi olursunuz.
Lamba sonunda limitine ulaştığında, yerine yeni bir lamba takılır. Bu oldukça basit bir işlemdir. Teknik ekibinize bir ipucu: Lambayı takmadan önce tüpü temizlemek için tozsuz bezler ve IPA kullanın. Tüpün tamamen temiz olması gerekir.