Üretim alanında, pişirme sürecindeki 0,5°C’lik bir değişiklik bile çizgi genişliklerini nanometreler cinsinden etkiler; ayrıca partikül artışları da ürünlerin büyük bir kısmını bozabilir. Wafer seviyesindeki CSP ısıtıcılarının, ekipmanın hızına ayak uydurabilecek şekilde, tekrarlanabilir, düzenli ve yeterince hızlı bir şekilde ısı sağlaması gerekmektedir. İnfraruj ısıtıcılarımızı bu gerçeklere göre tasarladık.
Teknik olarak önemli olanlar:
Hızlı ısınma özelliğine sahip kısa dalga boylu infraruj kaynaklar kullanıyoruz; böylece sıcaklık birkaç saniye içinde istenen seviyeye ulaşır ve kapalı döngü kontrolü sağlanır. Wafer üzerindeki termal profil ±0,1°C civarında kalır; bu da yumuşak ve sert pişirme işlemlerinin litografi gereksinimleri dahilinde gerçekleşmesini sağlar. Emisörler, waferin her yerine eşit şekilde ısı yayacak şekilde yerleştirilmiştir; ayrıca odanın yüzeyleri soğuk tutulur. Bu sayede tortu oluşumu azalır ve partikül üretimi kontrol altında tutulur. Temiz oda sınıflarıyla uyumluluk da göz önünde bulundurulmuştur: Malzemeler düşük gaz salınımına sahiptir, yüzeyler silinebilir ve hava akışı ile sızdırmazlık da düşük seviyede tutulur.
Pratikte neden işe yarıyor?
Wafer kurutma işleminde infraruj ısıtıcılar, çözücülerin hızlı ve eşit şekilde buharlaşmasını sağlar; böylece waferin pişirilmesine gerek kalmadan kurutma işlemi tamamlanır. Fotoresistin önceden pişirilmesi ve sertleştirilmesinde ise aynı hızlı ve eşit ısı dağılımı sayesinde daha iyi kontrol sağlanır ve tekrarlı işlemler azalır. Sonuç olarak daha tutarlı boyutlar elde edilir, kusurlar azalır ve üretim hızı artar. Ayrıca enerji tüketimi de azalır; çünkü ısıtıcı yalnızca gerektiğinde ısı sağlar ve minimum enerji kaybıyla çalışır. Güvenilirlik ise uzun süreli çalışma ve öngörülebilir bakım aralıklarıyla ölçülür; pazarlama stratejileriyle değil.
Bilinmesi gerekenler:
Bu ısıtıcılar sorunsuz bir şekilde entegre edilebilir; ancak wafer yoluna ve egzoz stratejisine uyum sağlaması önemlidir. Kurulum hızlıdır, ancak lambanın gücü, emisivitesi ve sıcaklık geri bildirimlerinin işlem koşullarına uygun ayarlanması gerekir. Maksimum ayar noktasında sürekli çalışmak, emisörlerin ömrünü kısaltır; bu yüzden devir sayısı ve sıcaklık değişimleri ekipmanın işleyişine uygun şekilde planlanmalıdır. Gerilim ve bağlantı özellikleri platforma uygun olmalı ve hatlara monte etmeden önce entegrasyon ve sensör uyumluluğu kontrol edilmelidir.