Üretim tesislerinde, biyosensör yongalarının başarısı tamamen termal tekrarlanabilirlik derecesine bağlıdır. Fotoresistin pişirilmesi sırasında 30 m°C’lik bir sıcaklık değişimi, çizgi genişliğinin kontrolünü bozar; ayrıca aşırı pişirme işlemi sonucunda parçacık oluşması da üretim verimliliğini ciddi şekilde düşürür. Bu belirsizlikleri ortadan kaldırmak için IR lamba sistemi geliştirdik.
Asıl önemli olan şeyler
Kuvars optikleri kullanarak kısa dalga boylu NIR ışık kaynakları kullanıyoruz; böylece ısı doğrudan yonga üzerine iletilir – hızlı, temiz ve aşırı ısınma olmadan. Böylece aktif alan genelinde ±0,1°C’lik bir düzgünlük elde edilir. Bu sayede hem yumuşak hem de sert pişirme işlemleri her seferinde aynı sonuçları verir. Cihaz 24/7 çalışır ve planlanmamış arızalar meydana gelmez; ayrıca parçacıksız kalır – bu da onu Cleanroom Sınıf 1–100 ile tamamen uyumlu hale getirir.
Neden biyosensör üretimi için uygundur
Biyosensör üretiminde ince filmler ve hassas yapılar kullanılır ve eğer pişirme işlemi stabil değilse fotoresistte deformasyonlar meydana gelebilir. Lambalarımız, pişirme sıcaklığını yüksek tekrarlanabilirlikle sabitler; böylece litografik ve aşındırma işlemleri tutarlı kalır. Hızlı ısınma süreci, kontrolün kaybedilmesine neden olmadan işlem süresini kısaltır; enerji verimliliği ise her wafer için maliyeti düşürür. Sonuç olarak daha yüksek ilk üretim verimi ve daha az yeniden işleme ihtiyacı elde edilir.
Dikkat edilmesi gerekenler
Lamba çıkışı, ışık kaynağı ile wonga arasındaki mesafeye ve kuvars pencerenin ne kadar temiz olduğuna duyarlıdır. Bu yüzden cihazın sabit bir odak mesafesine ve düzenli bakıma ihtiyacı vardır. Entegrasyon oldukça basittir, ancak termal profilin belirli fotoresist ve substrat yapısına uyumlu olması gerekir. Büyük ölçekli üretime başlamadan önce küçük ölçekli testler yaparak prosedürleri belirleyin.