Hoe je je klasse-100-reinruimte echt schoon houdt
In de wereld van chipfabricage is zelfs één stofdeeltje een groot probleem – het kan namelijk leiden tot schade aan een hele lading chips. Dat is erg stressvol. De meeste verwarmings-elementen zijn in zulke omstandigheden een nachtmerrie: ze geven gassen af of lossen deeltjes af op het moment dat dat juist niet wil gebeuren.
Daarom gebruiken we IR-lampen gemaakt van hoogpuur synthetisch kwarts. Zulke lampen veroorzaken geen problemen.
Het voordeel van kwarts
We gebruiken gesmolten silica, die hitte kan verdragen zonder te kristalliseren. Als je goedkope glas of lage kwaliteit kwarts gebruikt, gaan de buizen beschadigen wanneer ze worden opgewarmd en afgekoeld. Dat mag natuurlijk niet gebeuren. Onze buizen blijven glad. Omdat het infrarode licht rechtstreeks op het substraat terechtkomt, zijn er geen onzuiverheden die op het oppervlak van de chip terechtkomen.
Passend in je apparatuur
Semiconductorapparatuur is vaak erg krap. We weten dat. Daarom hebben we de vorm van de filamen aangepast, zodat de hitte gelijkmatig op de chip terechtkomt. Er zijn geen hete plekken of vreemde verschillen in temperatuur. En belangrijker nog: er vindt geen vervorming van de chip plaats tijdens het bewerken.
We hechten ook veel waarde aan de sluitingen van de lampen. We zorgen ervoor dat het halogeengas binnenin de lamp blijft en niet in de vacuümruimte terechtkomt.
Het nadeel is echter dat deze sluitingen zeer strak moeten zijn. Als één van hen faalt, brandt de lamp snel uit. Het is een compromis. We geven de voorkeur aan een snelle vervanging van de lamp, in plaats van dat er lekkages optreden die je reinruimte kunnen beschadigen. Daarom moet je ze voorzichtig behandelen. Precieze alignering is belangrijk om te voorkomen dat er te veel spanning op het kwarts komt te staan.
Het in gebruik nemen van de lampen
Het is gemakkelijk om deze lampen te koppelen aan je bestaande PID-controllers. Omdat kwarts de hitte niet lang vasthoudt, gaan deze lampen snel opwarmen en afkoelen. Hierdoor heb je meer controle over de temperatuur van de chip.
Als een lamp zijn limiet bereikt heeft, hoef je hem alleen maar te vervangen. Het is een eenvoudige vervanging. Voor de technici: gebruik schone doekjes en IPA om de lamp schoon te maken voordat je hem installeert. Houd hem schoon, dan werkt alles goed.