Op de productieafdeling kan een verschil van 0,5°C in de temperatuurverdeling tijdens het bakproces ertoe leiden dat de breedte van de lijnen op het chipoppervlak enkele nanometers verandert. Bovendien kan een plotselinge toename in het aantal deeltjes ervoor zorgen dat veel producten beschadigd raken. De verwarmers die worden gebruikt op het chipniveau moeten dus hitte leveren die betrouwbaar, consistent en snel genoeg is om bij te houden met de snelheid van het productieproces. Onze infraroodverwarmers zijn ontworpen om aan deze eisen te voldoen.
Wat technisch belangrijk is We maken gebruik van infraroodbronnen met korte golflengten die snel warmte kunnen leveren. Hierdoor wordt de temperatuur binnen seconden bereikt, zodat de controle over de temperatuur optimaal blijft. De temperatuurverdeling over het chipoppervlak blijft binnen een marge van ±0,1°C, zodat zowel het zachte als het harde bakproces binnen de vereisten van de lithografietechnologie valt. De emissoren zijn zo geplaatst dat er een evenmatige warmteverdeling wordt gecreëerd. De oppervlakken van de kamer blijven koel, waardoor de neerslag van stoffen wordt verminderd en er minder deeltjes worden gegenereerd. De compatibiliteit met schone ruimtes van klasse 1–100 is ook belangrijk: de materialen hebben weinig uitstoot, de oppervlakken kunnen gemakkelijk worden schoongemaakt, en de luchtcirculatie en afsluiting zijn zo ontworpen dat de hoeveelheid deeltjes minimaal blijft.
Waarom het in de praktijk werkt Voor het drogen van chips zorgen de infraroodverwarmers ervoor dat de oplosmiddelen snel en gelijkmatig verdampen. Hierdoor wordt de droogtijd verkort, zonder dat de chip hoeft te worden gebakken. Tijdens het voorbakken en behouden van de fotoresist zorgt deze snelle en gelijkmatige warmte voor een betere controle over de temperatuur en minder herwerkingen. Het resultaat is een consistentere afmeting van de chips, minder defecten en een hogere productiecapaciteit. Ook de energieverbruik neemt af, omdat de verwarmers alleen op dat moment warmte leveren wanneer dit nodig is. De betrouwbaarheid wordt gemeten aan de hand van lange werkingstijden met stabiele prestaties en voorspelbare onderhoudsintervallen, niet aan de hand van marketingargumenten.
Dingen om rekening mee te houden Deze verwarmers kunnen gemakkelijk worden geïntegreerd, maar het is belangrijk om ze goed uit te aligneren met de positie van de chip en de afvoerstrategie. De instellingen van de lampen en de sensoren moeten worden aangepast aan de vereisten van het productieproces. Het continu werken op het maximale niveau verkort de levensduur van de emissoren. Plan daarom de werktijden en temperatuurregelingen zodat ze overeenkomen met de vereisten van het productieproces. Zorg er ook voor dat de spanning en aansluitingen overeenkomen met de specificaties van het apparaat. Controleer eerst of de sensoren goed werken voordat je de apparaten in gebruik neemt.