Op de fabrieksvloer is de bakstap waar je rendement wint - of verliest. Een ±2°C schommeling tijdens de zachte of harde bak zal kritische afmetingen verschuiven en beginnen met scumming. Een koude plek over de wafer verschijnt als voetafdrukken en ruwheid van de rand. De best verkopende waferverwarmer van 2026 is ontworpen om die variabiliteit uit het thermische budget te halen.
Wat technisch gezien belangrijk is, is controle. We gebruiken kortgolvige halogeenlampen in een kwarts-halogeen omhulsel, en we maken gebruik van gesloten-lus pyrometrie om de uniforme temperatuur op wafer-niveau binnen ±0.1°C over 150–300 mm substraten te handhaven. Temperatuurstijgingen herhalen zich binnen 0.2°C van batch tot batch, en stabiliteit tijdens de inwerktijd houdt het fotoresistprofiel waar het moet zijn.
Het verwarmingselement is gebouwd voor cleanroom Klasse 1–100. We gebruiken materialen met een lage uitgassing en houden het luchtstroompad gecontroleerd op deeltjes. Nul deeltjesgeneratie is geen slogan - het is iets wat we verifiëren met inline deeltjesmeters tijdens de kwalificatie.
Waarom het werkt in lithografieclusters is simpel: het houdt het fotoresistverwerkingsproces binnen specificaties, zodat je herwerk vermindert en de lijnrendementen verbetert. In multi-shift kwalificaties draait het systeem 24/7 met nul onvoorziene stilstanden, en de herhaalbaarheid van het thermische profiel verkort de kwalificatietijd.
Energieverbruik is geoptimaliseerd en de voetafdruk past in standaard sporen zonder herwerk. De uitkomst is stabiele controle van kritische afmetingen, minder afval en capaciteit waar je omheen kunt plannen.
Een paar praktische opmerkingen. De installatie heeft een toegewijde stroomcircuits en gecontroleerde afzuiging nodig. De lampenarray genereert intense stralingswarmte, dus afscherming en interlocks moeten exact volgens de machinehandleiding worden behandeld.
De verwarming is compatibel met SECS/GEM voor dataverzameling, maar volledige receptintegratie hangt af van uw hostcontroller versie. Voer een korte integratietest uit voordat je het in de productie invoert.