TARC/BARC bakverwarmer
Op de lithografische ondergrond is al een verschil van een halve graad tijdens het verhitten volgens de TARC/BARC-methode voldoende om kritieke...
Duurzame fotoresist bakovenverwarming
Op de lithovloer is een soft bake waarbij de temperatuur zelfs met 0,2°C afwijkt al voldoende om kritische dimensionale afwijkingen te veroorzaken en...