Op de productielijn hangt het succes van biosensoren af van de thermische reproduceerbaarheid. Een temperatuurverschil van 30 m°C tijdens het bakken van de fotoresist kan de controle over de dikte van de lijnen verstoren. Bovendien kan het ontstaan van deeltjes tijdens het bakken de opbrengst drastisch verminderen. We hebben het IR-lampensysteem ontwikkeld om deze onzekerheden weg te nemen.
Wat echt belangrijk is
We gebruiken korte-golflengte NIR-emitters met kwartsoptica. Hierdoor wordt de warmte rechtstreeks in de wafer gebracht – snel, schoon en zonder ongewenste effecten. Hierdoor blijft de uniformiteit van de wafer binnen ±0,1°C over het actieve gebied. Dit betekent dat zowel het zachte als het harde bakproces dezelfde resultaten oplevert, lot na lot. Het apparaat kan 24/7 draaien, zonder onverwachte stilstanden. Bovendien blijft het apparaat vrij van deeltjes – dit maakt het zeer geschikt voor gebruik in schone kamers van klasse 1–100.
Waarom het geschikt is voor biosensoren
Bij het maken van biosensoren worden dunne lagen en fijne structuren gebruikt, die gemakkelijk beschadigd kunnen raken. De fotoresist kan ook beschadigd raken als het bakproces niet stabiel is. Onze lampen zorgen voor een constante baktemperatuur, zodat de lithografie- en etapprozessen consistent blijven. Hierdoor neemt de variatie in diameter van de lijnen af en wordt de ruwheid van de randen kleiner. De snelle opwarmtijd verkort de productietijd, terwijl de energie-efficiëntie de kosten per wafer verlaagt. Het resultaat is een hogere opbrengst bij de eerste poging en minder herwerkingswerk.
Wat je in de gaten moet houden
De uitgangssterkte van de lampen is gevoelig voor de afstand tussen de emitter en de wafer, sowie voor de zuiverheid van het kwartsvenster. Daarom heeft het apparaat een vaste brandpuntsafstand nodig en moet er regelmatig worden gecontroleerd of alles in orde is. De integratie is eenvoudig, maar het thermische profiel moet worden aangepast aan de specifieke fotoresist en het substraat. Voer eerst een kort testproces uit om de instellingen vast te stellen, voordat je in serie gaat produceren.