真空チャンバー用赤外線ヒーター

クリーンルームでの二酸化炭素削減：ウェーハを加熱するためのより効率的な方法 半導体製造について正直に言えば、これは非常にエネルギーを消費するプロセスです。これまでは、ウェーハを適切な温度に保つために、チャンバー全体を加熱するという方法が用いられてきました。これは無駄なエネルギーの使用に他なりません...