अपने क्लीनरूम को हमेशा साफ रखना
वेफर निर्माण की प्रक्रिया में, थोड़ी सी भी धूल एक बड़ी समस्या है… क्योंकि यह पूरे चिप बैच के लिए विनाशकारी हो सकती है। ऐसी परिस्थितियों में ज्यादातर हीटिंग उपकरण भी समस्या पैदा करते हैं… क्योंकि वे गर्म होने पर धूल उत्पन्न करने लगते हैं।
इसीलिए हम उच्च-शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज आईआर लैंपों का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि ऐसे लैंप ऐसी समस्याओं से बचने में मदद करते हैं।
क्वार्ट्ज का उपयोग
हम ऐसे क्वार्ट्ज का ही उपयोग करते हैं जो गर्मी को सह सकता है, बिना क्रिस्टलीकृत होने के। यदि सस्ते ग्लास या कम गुणवत्ता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग किया जाए, तो लैंप गर्म/ठंडा होने पर टूटने लगते हैं… ऐसा तो बिल्कुल भी नहीं होना चाहिए।
हमारे लैंप हमेशा चिकने ही रहते हैं… क्योंकि आईआर विकिरण सीधे ही वेफर पर पड़ता है… इसलिए कोई अशुद्धता वेफर की सतह पर नहीं आ पाती।
उपकरणों में इनका उपयोग
सेमीकंडक्टर उपकरणों में जगह बहुत कम होती है… इसलिए हमने लैंपों की संरचना को ऐसे ही डिज़ाइन किया है, ताकि गर्मी वेफर पर समान रूप से पड़े… कोई गर्म बिंदु न हो, कोई असमानता न हो… और सबसे महत्वपूर्ण बात यह है कि बेकिंग/क्यूरिंग के दौरान वेफर में कोई विकृति न हो।
हम एंड-कैप सीलों के बारे में भी बहुत सावधान रहते हैं… हम यह सुनिश्चित करते हैं कि हैलोजन गैस लैंप के अंदर ही रहे… बाहर न निकले।
लेकिन ध्यान रखें… ये सील बहुत ही टाइट होती हैं… यदि कोई सील खराब हो जाए, तो लैंप जल्दी ही खराब हो जाता है… यह एक समझौता ही है… हम तो चाहते हैं कि लैंप जल्दी ही खराब हो जाए… ताकि क्लीनरूम खराब न हो। इसलिए इन लैंपों के साथ बहुत ही सावधान रहना आवश्यक है… सटीक व्यवस्था ही क्वार्ट्ज पर अतिरिक्त दबाव डालने से बचने में मदद करती है।
लैंपों को कार्यरत करना
इन लैंपों को अपने मौजूदा PID कंट्रोलरों में जोड़ना बहुत ही आसान है… क्योंकि क्वार्ट्ज गर्मी को लंबे समय तक नहीं रख पाता… इसलिए ये लैंप तुरंत ही गर्म/ठंडे हो जाते हैं… इससे वेफर के तापमान पर बेहतर नियंत्रण होता है।
जब कोई लैंप अपनी सीमा तक पहुँच जाता है, तो उसे बदल दिया जाता है… यह बहुत ही आसान है… लेकिन ध्यान रखें… लैंप लगाने से पहले उसे साफ करना आवश्यक है… ऐसा करने से ही वेफर साफ रहेगा।