फैब फ्लोर पर, हम त्रुटियों का पीछा नहीं करते – बल्कि तापमान नियंत्रण पर ही ध्यान देते हैं। फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया में 0.5°C का भी अंतर, पूरे वेफर को बर्बाद करने के लिए पर्याप्त है। हमने ऐसे वेफर ड्रायर बनाए हैं, ताकि प्रत्येक चक्र में पूरे वेफर पर तापमान स्थिर रहे।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम क्वार्ट्ज में शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड हैलोजन तत्वों का उपयोग करते हैं; क्योंकि ये जल्दी गर्म हो जाते हैं, एवं तापमान नियंत्रण में मदद करते हैं। ये लैंप, बेकिंग जोन में ±0.1°C की स्थिरता बनाए रखते हैं; इससे महत्वपूर्ण मापदंड स्थिर रहते हैं।
ये लैंप क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में ही काम करते हैं, एवं कोई कण भी नहीं उत्सर्जित करते – इसकी पुष्टि इन-लाइन मॉनिटरिंग से होती है। 5,000 घंटों से अधिक समय तक इनका प्रदर्शन स्थिर रहता है; ल्यूमेन एवं तापमान में 5% से कम बदलाव होता है।
लिथोग्राफी में इसका महत्व क्या है?
लिथोग्राफी में, ड्रायर बल्ब वहीं स्थित होता है, जहाँ उत्पादन दर एवं संचालन समय आपस में जुड़े होते हैं। बेहतर तापमान नियंत्रण से किनारों पर होने वाले बदलाव कम हो जाते हैं, अवशिष्ट विलायक भी कम हो जाता है, एवं लाइनविड्थ भी स्थिर रहती है। इससे पहली बार ही उच्च उत्पादन दर प्राप्त होती है, एवं पुनर्कार्य की आवश्यकता भी कम हो जाती है। इस बल्ब की दक्षता से प्रति वेफर ऊर्जा की खपत कम हो जाती है, एवं इसकी विश्वसनीयता से अप्रत्याशित बंद होने एवं रखरखाव की आवश्यकता भी कम हो जाती है। इससे प्रक्रिया लगातार चलती रहती है, एवं प्रक्रिया नियंत्रण में ही रहती है।
व्यावहारिक विवरण:
बल्ब को उपकरण के सॉकेट एवं थर्मल फीडबैक सिस्टम के अनुरूप ही लगाना आवश्यक है। अनुपयुक्त कनेक्टर या थर्मोकपलों के कारण नियंत्रण प्रणाली खराब हो जाती है। सेटपॉइंट पर पहुँचने से पहले एक वॉर्म-अप अवधि होती है – इसलिए अपनी प्रक्रियाओं को इस हिसाब से ही तैयार करें। उच्च तापमान पर काम करने से बल्ब की उम्र कम हो जाती है; इसलिए निर्धारित सीमाओं के भीतर ही काम करें, ताकि प्रदर्शन स्थिर रहे।
जब बल्ब सही तरीके से लग जाता है, तो यह 24/7 काम कर सकता है, एवं नियमित रखरखाव के साथ ही यह मानक लिथोग्राफी प्रक्रियाओं में भी उपयोग में आ सकता है।