על הגרף התרמי, שינוי של חצי מעלה במהלך תהליך החימום TARC/BARC יכול לגרום לשינויים בממדים הקריטיים של הצ’יפ, וליצירת פגמים שניתן לגלותם רק בשלב מאוחר מדי. מה שנחוץ הוא חום שפועל כפרמטר קבוע, ולא כמשתנה אחר.
מה חשוב מבחינה טכנית? יצרנו את מערכות החימום TARC/BARC על בסיס רכיבי אינפרא-אדום בעלי גל ארוך, יחד עם עיצוב תרמי שמשתמש בקוורץ. התוצאה היא אחידות בטמפרטורה ברמת הוואפר, בטווח של ±0.1°C על פני כל שטח החימום. החזריות של הטמפרטורה נשארת באותו טווח, מעגל אחר מעגל, כך שהפרופילים של החימום לא ישתנו. אזור החימום מעוצב כך שיוכל לפעול בסביבה נקייה, ברמת Class 1–100, תוך שימוש בחומרים שאינם פולטים גזים, ובמערכת שמשלוטת בכמות החלקיקים – כך שהרגישות של הפוטורזיסט נשמרת. הממשק של המערכת מותאם לתקנים הסטנדרטיים של תהליכי הציפוי והחימום – כך שניתן לשלב אותה ללא צורך בשינויים בציוד.
למה זה עובד בייצור? בייצור, הדיוק הזה מתבטא ישירות בשיעור ההצלחה של התהליך. יציבות החימום ב-TARC/BARC מפחיתה את השינויים ברמת ההחזרה של האור, מונעת אפקטים של גלים עומדים, ומשפרת את השליטה בממדים של הצ’יפ – כך שיש פחות צורך בעבודות תיקון ופחות פסולת. כמו כן, צריכת האנרגיה יורדת, בזכות שליטה מדויקת בטמפרטורה – זמן החימום קוצר, אך האחידות נשמרת. האמינות של המערכת מאפשרת פעולה 24/7, תוך שמירה על איכות התהליך גם לאחר עיבוד של אלפי ואפרים.
מה צריך לדעת? מערכות אלו דורשות מקור אנרגיה יציב וממשק התקנה נקי. אפילו עיוות מכני קטן יכול ליצור אזורים חמים באזורים מסוימים, ולפגוע באחידות. יש לתכנן את ההתקנה כך שיהיה גישה לאזורי החימום ולמערכות הקירור, ויש לבדוק שוב את ההגדרות לאחר ההתקנה. ערכי הטמפרטורה שעובדים בפלטפורמה אחת עשויים לדרוש שינויים בפלטפורמה אחרת. יש לראות בפרופיל החימום חלק מהתהליך הכולל של הליטוגרפיה – ולא גורם נפרד שניתן לשנותו באופן עצמאי.