MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

웨이퍼를 올바르게 건조시키는 방법 (먼지 없이) MEMS 센서 제작에 종사해본 사람이라면 잘 알고 있겠지만, 웨이퍼 위에 조금이라도 먼지가 묻으면 그 웨이퍼는 전부 폐기해야 합니다. 정말 짜증나는 일이죠. 대부분의 경우, 문제의 원인은 바로 가열 요소 자체입니다. 낡...