UHP(초고순도) 히터 램프

반도체 경화 공정에서의 UHP 적외선 램프에 대해 이야기해 보겠습니다. 웨이퍼 처리나 포토레지스트 건조 작업을 해본 사람이라면, 히터 램프가 전체 공정의 핵심이라는 것을 잘 알고 있을 것입니다. 최근에는 “친환경적이고 납이 없는” 기준을 추구하는 움직임이 확산되고 있...