Comment sécher correctement vos plaques de silicium (sans poussière)
Si vous avez déjà travaillé dans la fabrication de capteurs MEMS, vous connaissez bien ce cauchemar : une seule particule de poussière sur une plaque de silicium suffit pour que toute la production soit perdue. C’est frustrant. La plupart du temps, la cause en est l’élément de chauffage lui-même. Ces éléments chauffants en métal ont tendance à se détériorer ou à libérer des gaz juste au moment où il faudrait qu’ils restent propres.
C’est pourquoi nous utilisons des lampes à rayonnement infrarouge en quartz de haute pureté. Elles ne se détériorent pas. Pas de particules suspectes, pas de plaques de silicium endommagées.
Pourquoi le quartz fonctionne si bien
La silice de haute pureté peut résister à de fortes sollicitations thermiques. Elle ne se fissure pas même sous l’effet de chocs thermiques extrêmes. Mais ce qui est vraiment intéressant, c’est la façon dont elle chauffe. Les rayonnements infrarouges pénètrent directement dans la surface de la plaque de silicium. On n’a pas besoin d’utiliser de courant d’air chaud pour faire partir l’humidité – ce qui est excellent, car l’air est en fait un vecteur pour la poussière.
Nous utilisons également un système à halogène à l’intérieur du tube. Cela empêche le filament de s’évaporer, ce qui keep l’intérieur du cristal de verre clair et prolonge la durée de vie des lampes. Ainsi, on obtient une chaleur homogène et fiable sur toute la surface de la plaque de silicium.
Quelques points à retenir
Ces lampes sont compactes. Elles peuvent être placées dans des espaces restreints. Nous pouvons ajuster leur longueur et leur puissance en fonction des besoins de votre chambre de séchage.
Mais attention avec l’alimentation électrique. Les lampes à rayonnement infrarouge à haute puissance consomment beaucoup d’énergie. Si vous utilisez plusieurs lampes en même temps, assurez-vous que votre tableau électrique puisse supporter la charge maximale. Vous ne voulez pas que les disjoncteurs sautent à chaque fois que vous augmentez la puissance.
Utilisez également un contrôleur PID. Si vous dépassez la température souhaitée, vous risquez de déformer ces fines membranes MEMS. C’est une erreur irréversible.
Utilisation pratique
En fin de compte, tout ce dont on a besoin, c’est d’une surface sèche, rapidement et stérilement séchée. Ces lampes permettent d’y parvenir. Comme les cycles de chauffage sont très rapides, les plaques de silicium passent moins de temps en phase de séchage. Cela signifie moins de taches d’eau et moins de résidus chimiques à gérer.
Si vous souhaitez mettre à jour un ancien système, ces lampes sont faciles à installer. Un conseil : soyez prudent avec les bras de fixation. Ne serrez pas trop fort le verre. Si la pression mécanique est trop forte, le tube pourrait se briser lorsqu’il se dilate sous l’effet de la chaleur.