Comment maintenir votre salle propre à 100 %
Dans le monde de la fabrication de puces, un seul grain de poussière n’est pas seulement gênant : il représente en fait une menace mortelle pour toute une série de puces. C’est très stressant. La plupart des éléments chauffants sont un vrai cauchemar dans ces environnements, car ils ont tendance à libérer des particules au moment où on ne le souhaite pas.
C’est pourquoi nous utilisons des lampes IR en quartz synthétique de haute pureté. Elles ne présentent pas ce problème.
Le quartz : notre choix idéal
Nous utilisons de la silice fusionnée, capable de résister à la chaleur sans se cristalliser. Si l’on utilise du verre bon marché ou du quartz de mauvaise qualité, les tubes commencent à s’effriter ou à produire de la poussière lorsqu’ils se réchauffent et se refroidissent. Ce n’est pas acceptable. Nos tubes restent lisses. Comme les rayonnements IR atteignent directement la surface de la puce, il n’y a pas de milieu intermédiaire qui pourrait y introduire des impuretés.
Intégration dans les outils
Les outils utilisés en semi-conducteurs sont très exiguës. Nous le savons. C’est pourquoi nous avons adapté la géométrie des filaments afin que la chaleur atteigne uniformément la puce. Aucun point chaud, aucune variation de température anormale… et surtout, pas de déformation pendant le processus de cuisson ou de séchage.
Nous accordons également une grande importance aux joints d’étanchéité. Nous nous assurons que le gaz halogène reste à l’intérieur de la lampe, et donc hors de votre système sous vide.
Le problème des joints d’étanchéité
Ces joints sont très hermétiques. S’ils échouent, la lampe s’éteint rapidement. C’est un compromis nécessaire. Nous préférons que la lampe s’éteigne rapidement plutôt que de laisser une fuite endommager votre salle propre. Par conséquent, il faut être prudent avec eux. Un alignement précis est essentiel pour ne pas surcharger le quartz.
Mise en service
Il est simple de connecter ces lampes à vos contrôleurs PID existants. Comme le quartz ne retient pas la chaleur longtemps, ces lampes s’allument et s’éteignent rapidement. Cela vous donne un meilleur contrôle sur la température de la puce.
Lorsqu’une lampe atteint ses limites, il suffit de la remplacer. C’est un remplacement très simple. Un conseil pour vos techniciens : utilisez des lingettes sans poussière et de l’alcool isopropylique pour nettoyer le tube avant de le placer en place. Gardez-le impeccable, et tout fonctionnera correctement.