Üretim alanında, yumuşak pişirme ve sert pişirme işlemleri sırasında meydana gelen termal değişimler, fotorezist profillerinin tahmin edilemez hale gelmesine neden olan faktörlerdir. 2°C’lik bir değişim bile kritik boyut kontrolünü bozar; bu durumda da aşındırma işlemi olumsuz etkilenir. Biz de bu belirsizliği ortadan kaldırmak için Veeco MOCVD ısıtıcı lambasını geliştirdik.
İç yapı açısından önemli olanlar
Lamba, kuvars kaplamalı yapı içinde kısa dalga boylu NIR halojen elemanları kullanır; böylece hızlı ve lokalize ısıtma sağlanır ve wafer düzeyindeki sıcaklık uniformitesi ±0,1°C civarında kalır. Lamba, fotorezistin çözücülerin uzaklaştırılması için yapılan yumuşak pişirme işlemlerinden tutun da yapışmayı sağlamak ve durağan dalgaları ortadan kaldırmak için yapılan sert pişirme işlemlerine kadar tüm süreçlerde istikrarlı çalışır. Ayrıca termal bütçeyi aşmadan çalışır.
Temiz oda sınıfları 1–100 için
Bu tasarım, düşük gaz salınımı ve sabit durumdayken sıfır parçacık üretimi sayesinde her şeyin kontrol altında kalmasını sağlar. Ayrıca 24/7 güvenilirlik de sağlanır: Sahadaki cihazlar 5.000 saatten fazla çalışmış olmasına rağmen çıkış değerlerinde %5’ten daha az sapma görülür.
Litoğrafi işlemlerinde neden avantajlıdır?
Litoğrafji işlemlerinde lamba, sıcak plaka bölgesinin sıcaklığını dengeleyerek fotorezistin davranışlarının belirlenen prosedürlere uygun olmasını sağlar. Böylece tekrarlanabilirlik artar ve daha az yeniden işleme gerekiyor. Hızlı ısıtma tepkisi sayesinde enerji tüketimi kontrol altında kalır ve öngörülebilir termal profil sayesinde film bütünlüğünü riske atmadan pişirme sürecini kısaltmak mümkün olur. Sonuç olarak daha yüksek boyut uniformitesi, aşındırma sonrası daha temiz yüzeyler ve özellikle ileri teknoloji düzeylerinde daha yüksek verimlilik elde edilir.
Dikkat edilmesi gerekenler
Montajın tam olarak doğru yapılması gerekmektedir: Lambanın konumu hassas bir şekilde ayarlanmalı ve konektör arayüzleri uyumlu olmalıdır ki termal bağlantı sağlansın ve güvenlik sistemleri düzgün çalışsın. Lambanın belirlenen voltaj ve soğutma koşulları içinde tutulması gerekmektedir. Eğer termal yükün üzerine çıkılırsa, lambanın ömrü kısalır. Ayrıca periyodik bakım planlaması yapılmalıdır; böylece cihazın çalışma süresi korunur ve parçacık sayısı da belirlenen standartlarda kalır.