Üretim alanında, strip chamber sıcaklığa ulaşana kadar hareketsiz kalır. Eğer destekleyici ısıtıcı düzgün çalışmazsa, artıklar kalır ve bir sonraki katman doğru şekilde yapışmaz. Bu yüzden, her seferinde ve her parti için sıcaklığı sabit tutan bir termal kontrol sistemi gereklidir.
Asıl önemli olan şeyler
Fotoresist sökme işlemi için kullanılan ısıtıcılar, kısa dalga boylu kızılötesi (SWIR) kuvars emitörlerinden oluşmaktadır. Bunlar hızlı tepki verir ve sıcaklık kontrolünü kolaylaştırır. Cihaz, wafer üzerinde ±0,1°C’lik bir düzenlilik sağlar; böylece tüm cihaz boyunca yumuşak ve sert pişirme işlemleri standartlarda gerçekleşir. Cihaz, Cleanroom Class 1–100 koşullarında çalışır ve yerinde izleme ile hiçbir parçacık oluşmadığından emin olunur. Sahada ise 24/7 güvenilir şekilde çalışır; cihazların kullanım süresi 5.000 saatin üzerindedir ve verimlilik kaybı %5’in altındadır. Özellikleri arasında 208–240 V giriş voltajı, yenileme işlemleri için uygun kompakt yapı ve standart kuvars-oda arayüzleri yer alır.
Bu teknolojinin neden önemli olduğu
Fotoresist sökme işlemi temelde termal bir süreçtir. Isıtıcı hızlı bir şekilde stabil hale geldiğinde, işlemler arasındaki bekleme süreleri azalır ve yetersiz veya aşırı pişirilmiş waferlerin atılması engellenir. Yüksek düzenlilik sayesinde litografiden sonra kritik boyut kontrolü sağlanır ve tekrarlanabilir sonuçlar elde edilir; bu da daha az kimyasal madde kullanılmasını sağlar. Sonuç olarak, tahmin edilebilir işlem süreleri, daha az yeniden işleme ihtiyacı ve daha kısa sürelerde işlem yapılmasıyla enerji tasarrufu sağlanır.
Kurulum sırasında dikkat edilmesi gerekenler
Odanın flanşlarının uyumlu olduğundan ve emitörlerin wafer yoluna göre doğru şekilde hizalandığından emin olun. SWIR ısıtıcılar hızlı ısınır, ancak bu sıcak bölgenin korunması gerekmektedir ki polimer kaplamalar zarar görmesin. Farklı formüller kullanılıyorsa, kısa bir kalibrasyon süreci planlanmalıdır. Ayrıca, partikül sayım yöntemlerinizle uyumluluğundan emin olun. Entegrasyon risklerini ortadan kaldırmak için arayüz çizimlerini önceden gönderiyoruz.