ในห้องผลิต อุปกรณ์สำหรับการกำจัดฟอโตเรซิสต์จะไม่ทำงานจนกว่าอุณหภูมิจะถึงระดับที่กำหนด หากเครื่องทำความร้อนมีปัญหา ก็จะเกิดคราบตกค้างไว้ และชั้นสารที่เคลือบลงไปในครั้งถัดไปก็จะไม่เกาะติดกับพื้นผิวได้อย่างมีประสิทธิภาพ ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีระบบควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำ เพื่อให้อุณหภูมิคงที่ในแต่ละครั้งที่มีการผลิต
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เราออกแบบเครื่องทำความร้อนนี้โดยใช้เครื่องกำเนิดคลื่นอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น (SWIR) ซึ่งช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว อุปกรณ์นี้สามารถรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิได้ที่ระดับ ±0.1°C ซึ่งช่วยให้กระบวนการอบมีความสม่ำเสมอตลอดทั้งแผ่นวาเฟอร์ อุปกรณ์นี้สามารถใช้งานได้ในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 และเรายังมีระบบตรวจสอบเพื่อให้มั่นใจว่าไม่มีอนุภาคใดๆ เกิดขึ้นระหว่างการใช้งาน ในทางปฏิบัติ อุปกรณ์นี้สามารถทำงานได้อย่างต่อเนื่อง 24/7 โดยมีอายุการใช้งานมากกว่า 5,000 ชั่วโมง และมีความคลาดเคลื่อนของอุณหภูมิน้อยกว่า 5% อุปกรณ์นี้สามารถใช้กับแรงดันไฟฟ้า 208–240 โวลต์ มีขนาดกะทัดรัด และสามารถติดตั้งได้ง่าย นอกจากนี้ยังมีอินเทอร์เฟซมาตรฐานสำหรับการเชื่อมต่อกับห้องผลิตอีกด้วย
เหตุใดสิ่งนี้จึงสำคัญ กระบวนการกำจัดฟอโตเรซิสต์นั้นเกี่ยวข้องกับอุณหภูมิโดยตรง เมื่อเครื่องทำความร้อนสามารถทำงานได้อย่างรวดเร็ว ก็จะช่วยลดเวลาที่อุปกรณ์ไม่ทำงาน และลดการทิ้งวาเฟอร์ที่ไม่ได้รับการอบอย่างเพียงพอหรืออบมากเกินไป ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิช่วยให้สามารถควบคุมขนาดสำคัญของวาเฟอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ และช่วยให้สามารถกำหนดจุดสิ้นสุดของกระบวนการได้อย่างแม่นยำ ซึ่งช่วยให้ใช้สารเคมีน้อยลง ผลลัพธ์ที่ได้คือเวลาในการผลิตที่แน่นอน ลดการผลิตซ้ำ และประหยัดพลังงานจากการอบที่ใช้เวลาน้อยลง
สิ่งที่ควรตรวจสอบขณะติดตั้ง ต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าอุปกรณ์มีการเชื่อมต่อที่ถูกต้อง และตำแหน่งของเครื่องกำเนิดความร้อนอยู่ในตำแหน่งที่เหมาะสมเมื่อเทียบกับเส้นทางการเคลื่อนที่ของวาเฟอร์ SWIR สามารถสร้างความร้อนได้อย่างรวดเร็ว แต่บริเวณที่มีความร้อนสูงนั้นจำเป็นต้องมีการป้องกันเพื่อไม่ให้สารพลาสติกที่ใช้กันนั้นเสียหาย เมื่อเปลี่ยนสูตรการผลิต ควรมีการปรับแต่งอุปกรณ์เล็กน้อยก่อนการใช้งาน และต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าอุปกรณ์นี้สามารถใช้งานได้ในห้องสะอาดตามมาตรฐานที่กำหนด เราจะส่งแบบแปลนการเชื่อมต่อมาให้ล่วงหน้า เพื่อลดความเสี่ยงในการติดตั้ง