ในห้องผลิตชิป ปัจจัยที่ส่งผลต่อความแปรปรวนของอุณหภูมิระหว่างกระบวนการอบชนิด “soft bake” และ “hard bake” ก็คือสิ่งที่ทำให้ค่าความหนาของฟิล์มโฟโตรีเซสต์ไม่แน่นอน เพียงแค่อุณหภูมิเปลี่ยนแปลงไป 2°C เท่านั้น ก็จะส่งผลให้การควบคุมค่าความหนาของฟิล์มโฟโตรีเซสต์ล้มเหลว และจะส่งผลกระทบต่อกระบวนการกัดกร่อนด้วย เราจึงสร้างเครื่องทำความร้อน Veeco MOCVD ขึ้นมา เพื่อขจัดความไม่แน่นอนดังกล่าวออกไป
สิ่งที่สำคัญภายในเครื่อง เครื่องนี้ใช้หลอดไฟชนิด HALOGEN ที่สามารถปล่อยคลื่นความยาวในช่วง NIR ได้ โดยอยู่ภายในเปลือกควอตซ์ ทำให้เกิดการทำความร้อนได้อย่างรวดเร็ว และมีความสม่ำเสมอในระดับ ±0.1°C นอกจากนี้ ยังสามารถรักษาค่าอุณหภูมิให้คงที่ตลอดช่วงเวลาการอบฟิล์มโฟโตรีเซสต์ ไม่ว่าจะเป็นการอบเพื่อกำจัดสารละลาย หรือการอบเพื่อเพิ่มความแน่นหนาของฟิล์มโฟโตรีเซสต์ โดยไม่ทำให้อุณหภูมิสูงเกินไป
สำหรับห้องผลิตที่มีมาตรฐาน Class 1–100 การออกแบบนี้ช่วยให้อุณหภูมิอยู่ในระดับที่ควบคุมได้ โดยมีการปล่อยก๊าซออกมาน้อยมาก และไม่มีฝุ่นเกิดขึ้นเลยเมื่อเครื่องทำงานอยู่ในสภาวะสม่ำเสมอ นอกจากนี้ ยังมีความน่าเชื่อถือตลอด 24/7 อีกด้วย เครื่องนี้สามารถทำงานได้นานกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยยังคงมีความแปรปรวนของอุณหภูมิอยู่ในระดับต่ำกว่า 5%
เหตุใดเครื่องนี้จึงเหมาะสำหรับการผลิตชิป ภายในห้องผลิตชิป เครื่องนี้ช่วยให้อุณหภูมิในบริเวณแผ่นร้อนมีความสม่ำเสมอ ทำให้ฟิล์มโฟโตรีเซสต์มีพฤติกรรมตามที่กำหนดไว้ แทนที่จะไปตามความแปรปรวนของอุณหภูมิ ดังนั้นจึงมีความสม่ำเสมอในการผลิตมากขึ้น ซึ่งหมายถึงต้องมีการปรับแก้น้อยลง และมีของเสียน้อยลงด้วย
นอกจากนี้ การตอบสนองของเครื่องที่รวดเร็วยังช่วยให้การใช้พลังงานอยู่ในระดับที่เหมาะสม และค่าอุณหภูมิที่สามารถคาดเดาได้ก็ช่วยให้สามารถลดเวลาการอบได้ โดยไม่ส่งผลต่อคุณภาพของฟิล์มโฟโตรีเซสต์ ผลลัพธ์ก็คือความสม่ำเสมอของค่าความหนาของฟิล์มโฟโตรีเซสต์ที่ดีขึ้น อินเตอร์เฟซที่สะอาดขึ้นหลังจากการกัดกร่อน และอัตราการผลิตที่สม่ำเสมอ โดยเฉพาะในกระบวนการผลิตชิประดับสูง
สิ่งที่ควรคำนึงถึง การติดตั้งเครื่องนี้ต้องทำอย่างถูกต้อง โดยต้องจัดวางเครื่องให้อยู่ในตำแหน่งที่เหมาะสมกับแผ่นร้อน และต้องให้อินเตอร์เฟซการเชื่อมต่อเหมาะสม เพื่อให้การถ่ายเทความร้อนเป็นไปอย่างมีประสิทธิภาพ และระบบความปลอดภัยก็ต้องทำงานได้อย่างถูกต้องด้วย
นอกจากนี้ ต้องรักษาให้เครื่องทำงานอยู่ในช่วงแรงดันไฟฟ้าและอุณหภูมิที่กำหนดไว้ หากอุณหภูมิสูงเกินไป ก็จะทำให้อายุการใช้งานของเครื่องลดลง ควรมีแผนการเปลี่ยนเครื่องตามกำหนดเวลาการบำรุงรักษา เพื่อรักษาเวลาการทำงานของเครื่อง และรักษาค่าฝุ่นให้อยู่ในเกณฑ์ที่กำหนดไว้ด้วย