บนชั้นการผลิต กระบวนการลิโธกราฟีและการอบจะอยู่หรือตายบนการควบคุมความร้อน กำลังแสงจากหลอดที่เคลื่อนตัวจะทำลายความสม่ำเสมอของ CD และไส้หลอดที่เสื่อมสภาพจะทำให้สายการผลิตหยุดทำงาน เราได้ออกแบบไส้หลอดทดแทนเพื่อขจัดความไม่แน่นอนนี้ออกไป
สิ่งที่สำคัญจริง ๆ คือความสามารถในการทำซ้ำภายใต้สภาวะโหลด ไส้หลอดถูกออกแบบมาเพื่อรักษาการแผ่รังสีที่เสถียรทั้งในช่วงคลื่นสั้นและกลาง เพื่อให้กำลังแสงคงที่สำหรับการอบแบบนุ่มและอบแบบแข็ง ความสม่ำเสมอบนระดับแผ่นเวเฟอร์อยู่ในช่วง ±0.1°C และปลอกควอตซ์รวมถึงรูปร่างถูกเลือกมาเพื่อให้ตรงกับซ็อกเก็ตและชนิดขั้วต่อของ OEM—สามารถเปลี่ยนได้โดยไม่ต้องดัดแปลงใหม่ ในห้องคลีนรูมระดับ Class 1–100 การประกอบทำงานโดยไม่มีการสร้างฝุ่นอนุภาค จึงทำให้อัตราการเกิดฝุ่นคงที่ในช่วงรอบการอบสำคัญ
เหตุผลที่รักษาคุณสมบัตินี้ไว้ได้ คือการรักษางบความร้อนให้อยู่ในระดับที่กำหนด โปรไฟล์ของโฟโตเรซิสต์ทำซ้ำได้อย่างสม่ำเสมอจากล็อตหนึ่งไปยังล็อตถัดไป ซึ่งช่วยลดงานแก้ไขและเพิ่มผลผลิต การใช้พลังงานถูกปรับให้เหมาะสม และไส้หลอดทำงานต่อเนื่อง 24/7 โดยมีช่วงเวลาบำรุงรักษาที่คาดการณ์ได้ จึงลดเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิด ผลลัพธ์คือกระบวนการที่เสถียร มีการเบี่ยงเบนลดลง และจังหวะการทำงานของกระบวนการลิโธกราฟีและแท็กมีความสม่ำเสมอมากขึ้น
หมายเหตุบางประการที่ควรใช้จริง
- ตรวจสอบความเข้ากันได้ของแรงดันไฟฟ้าและขั้วต่อก่อนสั่งซื้อ—พินหรือขั้วต่อที่ไม่ตรงกันจะทำให้เกิดปัญหาในการจุดติดและความเสถียร
- ทำการเบิร์นอินสั้น ๆ หลังติดตั้งเพื่อยืนยันความสม่ำเสมอและความสามารถในการทำซ้ำของจุดตั้งในห้องอบ
- ปฏิบัติกับหลอดไฟเป็นชิ้นส่วนที่ผ่านการสอบเทียบ: เปลี่ยนตามกำหนดและเก็บบันทึกเพื่อเชื่อมโยงผลการแสงออกกับประสิทธิภาพของกระบวนการ