เครื่องทำความร้อนสำหรับช่วยในการลอกฟิล์มโฟโตรีซิสต์

ในห้องผลิต อุปกรณ์สำหรับการกำจัดฟอโตเรซิสต์จะไม่ทำงานจนกว่าอุณหภูมิจะถึงระดับที่กำหนด หากเครื่องทำความร้อนมีปัญหา ก็จะเกิดคราบตกค้างไว้...