Mengekalkan Kebersihan Bilik Bersih Kelas 100 dengan Baik
Dalam dunia pengeluaran cip, setiap zarah debu merupakan masalah besar – ia boleh merosakkan keseluruhan kumpulan cip yang dihasilkan. Kebanyakan komponen pemanas juga menimbulkan masalah dalam persekitaran seperti ini, kerana ia cenderung untuk mengeluarkan gas atau zarah-zarah tertentu pada masa yang tidak diinginkan.
Itulah sebabnya kami menggunakan lampu IR berbahan kuarsa sintetik berkualiti tinggi. Lampu jenis ini tidak akan menyebabkan masalah tersebut.
Kelebihan menggunakan kuarsa
Kami menggunakan silika yang tahan panas tanpa mengalami proses kristalisasi. Jika menggunakan kaca murah atau kuarsa berkualiti rendah, tiub lampu akan mula retak atau berdebu apabila dipanaskan dan disejukkan. Ini tentu saja tidak boleh diterima.
Tiub lampu kami tetap rata. Oleh kerana sinar IR bertindak secara langsung pada permukaan wafer, tiada bahan cemar yang boleh masuk ke permukaan wafer tersebut.
Penggunaan dalam alat-alat pengeluaran semikonduktor
Alat-alat pengeluaran semikonduktor mempunyai ruang yang terhad. Kami telah menyesuaikan reka bentuk filamen agar haba dapat disalurkan secara merata ke permukaan wafer. Tidak ada kawasan yang terlalu panas, dan yang paling penting, tiada pemendean yang berlaku semasa proses pembakaran atau penyembuhan.
Kami juga sangat memperhatikan penutup hujung tiub lampu. Kami memastikan gas halogen tetap berada di dalam lampu, dan tidak keluar ke luar bilik bersih tersebut.
Namun, penutup ini perlu dipastikan ketat. Jika ia gagal, lampu akan cepat rosak. Ini merupakan kompromi yang perlu diterima. Kami lebih suka lampu rosak dengan cepat daripada membiarkan kebocoran merosakkan bilik bersih tersebut. Oleh itu, anda perlu berhati-hati semasa menggunakannya. Pengaturan yang tepat sangat penting untuk mengelakkan tekanan berlebihan pada kuarsa.
Cara menggunakannya
Menghubungkan lampu ini ke kawalan PID yang sedia ada adalah mudah. Memandangkan kuarsa tidak dapat menahan haba untuk jangka masa yang lama, lampu ini akan panas dan sejuk dengan cepat. Ini membolehkan anda mengawal suhu wafer dengan lebih baik.
Apabila lampu mencapai hadnya, anda hanya perlu menggantikannya. Ia merupakan proses penggantian yang mudah. Sebagai panduan untuk para teknisi: gunakan kain kering untuk membersihkan tiub lampu sebelum memasangnya semula. Pastikan tiub lampu bersih sepenuhnya, agar ia dapat berfungsi dengan baik.