Di kilang pembuatan biosensor, keberkesanan wafer biosensor bergantung pada ketepatan suhu semasa proses pemanggangan. Perubahan suhu sebanyak 30 m°C semasa proses pemanggangan boleh merosakkan kawalan ketebalan garisan pada wafer tersebut. Selain itu, penghasilan zarah-zarah kecil semasa proses pemanggangan juga boleh mengurangkan kadar pengeluaran wafer yang berkualiti. Kami telah membina sistem lampu IR untuk mengurangkan ketidakpastian ini.
Apa yang benar-benar penting
Kami menggunakan pemancar cahaya gelombang pendek bersama-sama dengan optik kuarsa, agar haba dapat disalurkan terus ke wafer secara cepat dan efisien. Dengan cara ini, keseragaman suhu pada wafer dapat dicapai pada tahap ±0.1°C di seluruh kawasan aktifnya. Ini bermakna proses pemanggangan yang lembut dan keras akan memberikan hasil yang sama setiap kali ia dilakukan. Alat ini boleh beroperasi 24/7 tanpa sebarang gangguan, dan ia juga bebas daripada zarah-zarah kecil. Ia sesuai digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100.
Mengapa ia sesuai untuk penghasilan biosensor
Dalam proses pembuatan biosensor, lapisan nipis dan struktur halus perlu dibentuk dengan teliti. Jika suhu pemanggangan tidak stabil, bahan fotoresist boleh cair. Lampu IR yang kami gunakan memastikan suhu pemanggangan kekal stabil, sehingga proses litografi dan pengikisan dapat dilakukan dengan lebih tepat. Variasi diameter garisan juga dapat dikurangkan, dan permukaan garisan menjadi lebih rata. Proses pemanggangan yang cepat memendekkan masa yang diperlukan, sementara kecekapan tenaga pula membantu mengurangkan kos pengeluaran setiap wafer. Hasilnya ialah kadar pengeluaran yang lebih tinggi dan kurangnya keperluan untuk melakukan proses pembetulan semula.
Apa yang perlu diperhatikan
Keluaran cahaya dari lampu sangat bergantung pada jarak antara pemancar dan wafer, serta kebersihan tingkap kuarsa. Oleh itu, alat ini memerlukan jarak fokus yang tetap serta pemeriksaan berkala untuk memastikan kebersihannya. Proses integrasinya mudah, tetapi profil suhu perlu disesuaikan dengan jenis bahan fotoresist dan substrat yang digunakan. Lakukan ujian pendek sebelum memulakan pengeluaran secara besar-besaran.