Pada lantai litograf, proses pembakaran bukan sekadar melibatkan kawalan suhu semata-mata – ia juga melibatkan kawalan dimensi yang tepat. Jika suhu naik sebanyak 0.5°C, kawalan dimensi akan terjejas. Kebolehulangan proses pula akan menjadi tidak stabil. Lampu pemanas TEL digunakan untuk mengurangkan ketidakpastian tersebut dalam proses pemanasan.
Apa yang penting di sebaliknya
Kami menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek (SWIR) jenis kuarsa-halogen yang disesuaikan dengan modul pemanas TEL. Ini membolehkan proses pemanasan berlaku dengan cepat, tanpa gangguan akibat inersia termal yang tinggi. Di permukaan wafer, keseragaman suhu dapat dipertahankan pada tahap ±0.1°C, sehingga proses pembakaran dapat berjalan dengan lancar, dari satu sesi ke sesi yang lain.
Proses pemasangan perlu dilakukan dalam persekitaran bilik bersih, dari kelas 1 hingga kelas 100. Bahan-bahan dan sambungan yang digunakan dipilih agar tidak menyebabkan pelepasan gas atau pembentukan zarah-zarah yang boleh merosakkan hasil pengeluaran. Apabila kita bercakap tentang kestabilan keluaran, kita mengukurnya berdasarkan masa dan jumlah kitaran yang dilakukan, bukan berdasarkan promosi.
Mengapa ia penting dalam proses fotoresist
Haba merupakan faktor penting dalam proses pemprosesan fotoresist. Lampu pemanas TEL membantu menstabilkan suhu semasa proses pembakaran, sekaligus mengurangkan masalah seperti kecacatan akibat pemanasan yang tidak mencukupi atau berlebihan. Kawalan suhu yang lebih tepat akan mempercepatkan proses pengeluaran, tanpa perlu mengubah bahan kimia yang digunakan.
Selain itu, lampu ini mempunyai jangka hayat yang panjang, sehingga tidak perlu ada gangguan semasa proses pengeluaran.
Apa yang perlu diperhatikan
Pemasangan lampu ini memerlukan penyesuaian mekanikal dan elektrikal yang tepat. Keluaran lampu sangat bergantung pada orientasi lampu dan aliran udara penyejuk, jadi aliran udara perlu dikendalikan mengikut spesifikasi yang ditetapkan.
Lampu ini harus dianggap sebagai alat yang telah dikalibrasi dengan baik, bukan sebagai barang yang boleh diganti. Kalibrasi perlu dilakukan pada waktu tertentu untuk memastikan keseragaman suhu tetap pada tahap ±0.1°C.