Out on the line, apabila profil terma pada lapisan BCB berubah, anda tidak akan mendapat hentian keras. Anda akan mengalami kebocoran hasil perlahan—tekanan sisa dan lekatan yang tidak muncul sehingga beberapa jam kemudian, semasa ujian. Kami membina lampu penyembuhan BCB untuk menghapuskan perubahan itu dari sumbernya. Dalam litografi, pembungkusan, dan pembersihan, suhu bukan tekaan. Ia adalah pemboleh ubah proses yang anda mesti kawal.
Apa yang penting di bawah hud
Lampu ini menggabungkan pemancar halogen/quartz gelombang pendek dengan reflektor yang direka, supaya tenaga mengenai susunan BCB dengan kuat dan ke arah yang betul. Sepanjang zon aktif, keseragaman peringkat wafer dikekalkan pada ±0.1°C, dan kebolehulangan dari satu pusingan ke pusingan seterusnya boleh dijejak. Kepala lampu sesuai untuk bilik bersih Kelas 1–100, dengan bahan dan kemasan yang memastikan penghasilan zarah pada paras sifar. Output kekal stabil selama lebih 5,000 jam, perubahan intensiti di bawah 5%, dan profil terma berulang dari lot pertama hingga lot keseratus.
Di mana ia membuktikan kegunaannya
Gunakan untuk pengeringan wafer selepas pembersihan basah, untuk pembakaran lembut dan keras photoresist, untuk penyembuhan pembungkusan underfill dan encapsulate, serta untuk bilasan dan pengeringan akhir di mana ketegangan permukaan mesti diatasi dengan bersih. Kenaikan suhu yang pantas memendekkan masa kitaran tanpa membebankan bajet terma anda, dan keseragaman yang ketat mengawal tekanan filem dan distorsi pola. Anda akan menggunakan kurang tenaga berbanding ketuhar konveksi dengan kadar pengeluaran yang sama, dan kepala lampu boleh ditukar dengan cepat—mengurangkan masa henti tidak dirancang.
Nota lapangan yang perlu diberi perhatian
Lampu ini sensitif terhadap penjajaran optik—jarak antara pemancar dan substrat mesti tetap dan boleh diulang untuk mengekalkan spesifikasi. Pastikan ruang dibersihkan dengan udara kering atau nitrogen supaya ampul kuarza tidak teroksida. Selepas menukar kepala lampu, ia akan stabil dalam masa kurang 15 saat. Sebelum memasangnya ke dalam landasan atau barisan pelapis sedia ada, semak semula keserasian retikel dan chuck.