वेफर को सही तरीके से सुखाना (धूल के बिना)
यदि आप MEMS सेंसरों के निर्माण में काम करते हैं, तो आपको पता ही होगा कि कितनी परेशानी होती है… अगर वेफर पर थोड़ी सी भी धूल जम जाए, तो पूरा बैच बर्बाद हो जाता है। यह बहुत ही निराशाजनक है। ज्यादातर मामलों में, इसका कारण ही हीटिंग तत्व ही होता है। पुराने धातु-आवरित हीटरों में ऐसी समस्याएँ होती हैं; वे ठीक उसी समय टूट जाते हैं, जब उनकी सफाई आवश्यक होती है।
इसीलिए हम उच्च-शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज IR लैंपों का ही उपयोग करते हैं। ऐसे लैंपों से कोई धूल नहीं निकलती… ना ही कोई अन्य कण, और ना ही वेफर बर्बाद होता है।
क्वार्ट्ज क्यों कारगर है?
उच्च-शुद्धता वाले सिलिका की खूबी यह है कि इसे भारी तापीय झटकों का सामना करना पड़ता है, लेकिन फिर भी यह नहीं टूटता।
लेकिन असली चमत्कार तो इसके गर्म होने के तरीके में ही है… IR विकिरण सीधे ही वेफर की सतह पर पहुँच जाता है। इसमें गर्म हवा की आवश्यकता ही नहीं है… जो कि बहुत ही अच्छा है, क्योंकि हवा तो धूल का स्रोत ही है।
हम ट्यूब के अंदर हैलोजन चक्र का भी उपयोग करते हैं… इससे फिलामेंट वाष्पीकृत नहीं होता, जिससे काँच की सतह साफ रहती है, और लैंप लंबे समय तक काम करता है। इससे पूरे वेफर पर समान एवं विश्वसनीय ताप प्राप्त होता है।
कुछ बातें ध्यान में रखें…
ये लैंप छोटे होते हैं… इन्हें छोटी जगहों में भी रखा जा सकता है। हम इनकी लंबाई एवं वॉटेज को ऐसे ही समायोजित कर सकते हैं, जैसा कि आपके चेंबर की आवश्यकता हो।
लेकिन बिजली सप्लाई के मामले में सावधान रहें… उच्च-वॉटेज वाले IR लैंपों को बहुत ही अधिक बिजली की आवश्यकता होती है… इसलिए आपके इलेक्ट्रिक पैनल को इस भार को संभालने में सक्षम होना आवश्यक है।
इसके अलावा, कृपया PID कंट्रोलर का ही उपयोग करें… अगर आप लक्षित तापमान से अधिक तापमान प्राप्त कर लें, तो MEMS मेम्ब्रेनें टूट सकती हैं… और यह ऐसी गलती है, जिसे सुधारा नहीं जा सकता।
वास्तविक उपयोग
अंत में, आपको तो ऐसी सतह ही चाहिए, जो सूखी, स्वच्छ एवं निर्जंतुक हो। ये लैंप ऐसा ही करते हैं… क्योंकि गर्म होने की प्रक्रिया बहुत ही तेज होती है… इसलिए वेफर को सुखने में कम समय लगता है… इससे पानी के धब्बे एवं रासायनिक अवशेष भी कम हो जाते हैं।
यदि आप किसी पुराने सिस्टम को अपग्रेड कर रहे हैं, तो ऐसे लैंपों को लगाना बहुत ही आसान है… बस एक बात ध्यान में रखें… माउंटिंग ब्रैकेटों के साथ सावधान रहें… काँच पर ज्यादा दबाव न डालें… अगर बहुत ज्यादा यांत्रिक तनाव हो, तो ट्यूब गर्मी के कारण टूट सकती है।