چگونه حرارت بیشتری به ویفرها منتقل کنیم (بدون هدررفت انرژی)
هنگام کار با ویفرهای نیمههادی، آلودگی شیمیایی یک مشکل جدی است. به همین دلیل، از لامپهای مادون قرمز بدون ازن استفاده میکنیم. اما مسئله اصلی این نیست که چقدر حرارت تولید میشود؛ بلکه مهم این است که چقدر از این انرژی واقعاً به ویفر منتقل میشود و چقدر از آن در هوا هدر میرود.
در اینجاست که بازتابندههای پوشیده از طلا میتوانند کمک کنند.
چرا طلا؟
اکثر افراد از آلومینیوم استفاده میکنند، اما آلومینیوم، انرژی مادون قرمز را جذب میکند. طلا متفاوت است؛ فوتونهای مادون قرمز را با کارایی بالایی بازتاب میدهد.
به جای هدر رفت انرژی در گرم کردن بدنه دستگاه، لایه طلا این انرژی را مستقیماً به ویفر منتقل میکند. در نتیجه، برای هر وات انرژی دریافتی، حرارت بیشتری تولید میشود. این روش، روشی هوشمندانهتر است.
هشداری درباره حرارت
از آنجایی که از لولههای کوارتز بدون ازن استفاده میکنیم، خط تابش ۱۸۵ نانومتری نیز از بین میرود. این کار باعث میشود گاز O3 وارد اتاق تمیز نشود؛ که برای یک اتاق تمیز مناسب، ضروری است.
اما مشکل اینجاست که وقتی از لامپهای مادون قرمز همراه با بازتابندههای طلا استفاده میکنیم، تراکم حرارت به طور چشمگیری افزایش مییابد. بنابراین باید مراقب سیستم خنککننده باشیم.
اگر جریان هوا به اندازه کافی نباشد، ممکن است سوکتهای لامپ یا بدنه دستگاه آسیب ببینند. این یک اشتباه رایج است، اما پیامدهای آن گرانقیمت خواهد بود.
بررسی عملی
در عمل، مسئله اصلی فاصله بین لامپ و ویفر است. ما فاصله را کم نگه میداریم؛ چوه هرچه لامپ نزدیکتر به ویفر باشد، حرارت کمتری پخش میشود.
اگر از سیستم آلومینیومی قدیمی به سیستم طلا تغییر دهید، تفاوت را فوراً احساس خواهید کرد. ویفرها سریعتر به دمای مورد نظر میرسند. این بدان معناست که زمان انجام کار کاهش مییابد و بهرهوری افزایش مییابد.
فقط یک نکته: باید بازتابندهها را کاملاً تمیز نگه دارید. حتی یک اثر انگشت یا لکه کوچک روی سطح طلا میتواند باعث ایجاد نقاط سرد شود؛ این امر باعث از بین رفتن یکنواختی حرارتی میشود. باید با آنها مراقب باشید؛ آنها نیز به بهبود بهرهوری شما کمک خواهند کرد.