In der Fertigungsstätte ist die thermische Schwankung während des Weich- und Hartbrennvorgangs eine Variable, die dazu führt, dass die Profile des Photoresists völlig unvorhersehbar werden. Schon eine Abweichung von 2 °C kann dazu führen, dass die Kontrolle über die kritischen Abmessungen nicht mehr möglich ist – anschließend leidet auch der Ätzungsvorgang unter diesen Auswirkungen. Wir haben den Veeco MOCVD-Heizstrahler entwickelt, um diese Unsicherheiten auszuschließen.
Was wirklich wichtig ist
Der Heizstrahler verwendet Halogenelemente mit kurzwelligem Infrarotlicht innerhalb einer Quarzkapsel. Dadurch wird eine schnelle, lokalisierte Erwärmung erreicht – bei einer Gleichmäßigkeit auf Waferniveau von ±0,1 °C. Der Heizstrahler hält seine Einstellwerte über den gesamten Brennvorgang hinweg konstant – vom Weichbrennen zur Entfernung von Lösungsmitteln bis zum Hartbrennen zur Sicherstellung der Haftung des Photoresists – ohne dabei die thermischen Grenzen zu überschreiten.
Für Reinräume der Klassen 1–100 sorgt das Design dafür, dass es zu keiner Ausgasung kommt und keine Partikel entstehen, sobald der Betrieb im Gleichgewicht ist. Man kann sich außerdem auf eine zuverlässige Leistung rund um die Uhr verlassen: Die Geräte haben bereits mehr als 5.000 Stunden Betriebszeit hinter sich, ohne dass die Leistungsfähigkeit unter 5 % fällt.
Warum dieser Heizstrahler in der Lithografie ideal ist
In den Lithografieanlagen sorgt der Heizstrahler dafür, dass die Temperatur in der Heizzone gleichmäßig ist. Dadurch verhält sich der Photoresist nach den vorgegebenen Vorgaben – anstatt von den Schwankungen beeinflusst zu werden. Dadurch wird die Wiederholgenauigkeit erhöht, was wiederum zu weniger Nacharbeiten und weniger Ausschuss führt.
Die schnelle Anpassung an die gewünschten Temperaturen sorgt dafür, dass der Energieverbrauch unter Kontrolle bleibt. Das vorhersagbare thermische Verhalten ermöglicht es außerdem, die Brenndauer zu verkürzen, ohne die Integrität des Photoresists zu gefährden. Das Ergebnis sind bessere Gleichmäßigkeiten der Abmessungen, sauberere Oberflächen nach dem Ätzen sowie eine konstante Produktivität – insbesondere bei fortgeschrittenen Prozessschritten.
Was man beachten muss
Die Installation muss präzise erfolgen: Der Heizstrahler muss genau auf dem Substrat ausgerichtet werden, und die Anschlüsse müssen so eingestellt werden, dass eine stabile Wärmeübertragung stattfindet und die Sicherheitsvorkehrungen funktionieren. Der Heizstrahler darf außerdem nicht über die vorgegebenen Spannungs- und Kühlbedingungen hinaus betrieben werden. Andernfalls verkürzt sich die Lebensdauer des Heizstrahlers. Planen Sie außerdem regelmäßige Wartungsarbeiten ein – so bleibt die Zuverlässigkeit gewährleistet und die Partikelzahl bleibt im Rahmen.