Udržení vaší čisté místnosti třídy 100 skutečně čistou
V prostředí výroby polovodičových destiček není jediný zrnko prachu jen otravou – je to osud celé série čipů. Je to stresující. V takových podmínkách jsou většina topných prvků noční můrou, protože mají tendenci uvolňovat plyny nebo částice právě v okamžiku, kdy to nechcete.
Proto používáme IR lampy z vysoce čistého syntetického křemíku. Ty prostě takové chování nemají.
Křemík jako řešení
Používáme spájenou křemičitou sklovinu, která dokáže odolat teplu bez krystalizace. Pokud použijete levné sklo nebo nízkokvalitní křemík, trubice začnou při zahřívání a ochlazování odpadávat nebo se pokrývat prachem. To rozhodně nemůžeme dopustit.
Naše trubice zůstávají hladké. Jelikož IR záření působí přímo na povrch destičky, neexistuje žádný prostředník, který by mohl na povrch destičky dostat nečistoty.
Integrace do nástrojů
Nástroje na výrobu polovodičů jsou velmi omezené co do prostoru. Víme to. Proto jsme upravili geometrii vlákna tak, aby teplo působilo na destičku rovnoměrně. Žádné „horké body“, žádné divné gradienty – a co je nejdůležitější, žádné deformace během procesu vypalování.
Jsme také velmi pečliví ohledně uzávěrů. Ujišťujeme se, že halogenový plyn zůstane uvnitř lampy a neunikne do vašeho vakua.
Jen má jedna výhrada: tyto uzávěry jsou velmi pevné. Pokud jeden selže, lampa rychle selže. Je to kompromis. Raději necháme lampu rychle selhat, než abychom dovolili úniku plynu, který by poškodil vaši čistou místnost. Proto s nimi musíte zacházet opatrně. Přesné zarovnání je klíčové, abychom nevyvolali příliš velký tlak na křemík.
Zprovoznění lamp
Připojení těchto lamp k vašim stávajícím regulátorům PID je jednoduché. Jelikož křemík dlouho neuchovává teplo, tyto lampy se rychle zahřívají i ochlazují. To vám dává mnohem větší kontrolu nad teplotou destičky.
Když lampa konečně dosáhne svého limitu, stačí ji vyměnit. Je to jednoduchá náhrada. Jen prosím upozorněte své techniky: použijte hadříky bez chlupů a alkohol na čištění trubice před jejím nasazením. Držte ji čistou a vše bude v pořádku.