V prostředí výroby může odchylka o 0,5 °C v profilu zahřívání způsobit posun šířky pruhů o několik nanometrů. Navíc může náhlý nárůst počtu částic zničit velkou část produktu. Ohřívače typu CSP musí poskytovat teplo, které je spolehlivé, čisté a dostatečně rychlé na to, aby drželo krok s cyklem pracovního stroje. Naše infračervené ohřívače jsou navrženy právě s ohledem na tato požadavky.
Co je z technického hlediska důležité
Používáme zdroje krátkovlnného infračerveného záření s rychlým nárůstem teploty. Díky tomu se teplota ustálí během několika desetin sekundy a kontrola v uzavřeném okruhu zůstává přesná. Teplotní profil po celé ploše waferu zůstává v rozmezí ±0,1 °C, což umožňuje provádět procesy zahřívání v rámci specifických požadavků litografie. Emitorové elementy jsou umístěny tak, aby zajistily rovnoměrné zahřátí po celé ploše waferu. Povrchy komory zůstávají chladné, což snižuje tvorbu částic. Ohřívače jsou navrženy tak, aby byly kompatibilní s prostředím třídy čistoty 1–100: materiály mají nízkou míru uvolňování plynů, povrchy lze snadno očistit a proudění vzduchu i utěsnění jsou navrženy tak, aby se minimalizoval počet částic.
Proč to v praxi funguje
Při sušení waferu infračervené záření rychle a rovnoměrně odpařuje rozpusliva, čímž se zkracuje doba sušení bez potřeby dalšího zahřívání waferu. Při předběžném zahřívání a vytvrzování fotorezisty tento rychlý a rovnoměrný přísun tepla umožňuje lepší kontrolu profilu teploty a méně oprav. Výsledkem je vyšší konzistence kritických rozměrů, méně vad a vyšší kapacita výroby. Spotřeba energie také klesá, protože ohřívač dodává teplo pouze tehdy, když je to potřeba, a v ostatní době pracuje s minimálními ztrátami. Spolehlivost se měří dlouhodobým provozem s stabilním výstupem a předvídatelnými intervaly údržby, ne prostřednictvím marketingových argumentů.
Věci, které je potřeba vědět
Tyto ohřívače se snadno integrují do systému, ale je důležité správně je zarovnat vzhledem k dráze waferu a k strategii odvodu vzduchu. Nasazení ohřívačů je rychlé, ale je potřeba upravit výkon lampy, emisivitu a zpětnou vazbu teploty podle požadavků vašeho procesu. Neustálé provozování ohřívačů na maximální hodnotě zkracuje jejich životnost, proto je potřeba plánovat frekvenci provozu a změny teploty tak, aby odpovídaly postupům pracovního stroje. Je také potřeba zajistit kompatibilitu napětí a konektorů s konkrétní platformou a ověřit kompatibilitu mezi jednotlivými komponentami před jejich nasazením do provozu.