V výrobní hale závisí úspěšnost výroby biosenzorů na tepelné reprodukovatelnosti. Odchylka teploty o 30 °C během zpracování fotorezisty může narušit kontrolu šířky linií, zatímco vznik částic během intenzivního zpracování může zcela zničit výtěžnost. Vytvořili jsme systém infračervených lamp, který tento problém odstraňuje.
Co je opravdu důležité
Používáme emitery krátkovlnného NIR světla s křemíkovou optikou – takže teplo přechází přímo do desky, rychle a bez nadměrného nárůstu teploty. Díky tomu dosahujeme rovnoměrnosti teploty na úrovni desky v rozsahu ±0,1 °C po celé aktivní ploše. To znamená, že proces měkkého i tvrdého zpracování probíhá stejným způsobem u každé série desek. Přístroj funguje 24/7 bez jakýchkoliv plánovaných přestávek a zůstává bez částic – je tak plně kompatibilní s prostředím třídy čistoty 1–100.
Proč to vhodné je pro výrobu biosenzorů
Při výrobě biosenzorů se vytvářejí tenké filmy a jemné struktury, které jsou náchylné ke stresu. Fotorezist může také změnit své vlastnosti, pokud není proces zpracování stabilní. Naše lampy zajistí přesnou kontrolu teploty, takže parametry litografie a leptání zůstávají konzistentní. Variace v rozsahu CD klesají a hrubost hranic linií se zlepšuje. Rychlé zvyšování teploty snižuje dobu cyklu, aniž by došlo ke ztrátě kontroly. Energetická efektivita zase snižuje náklady na jednu desku. Výsledkem je vyšší výtěžnost při prvním pokusu a méně oprav.
Na co je potřeba dávat pozor
Výkon lampy závisí na vzdálenosti mezi emitorem a deskou a také na čistotě křemíkového okna. Proto potřebuje přístroj pevnou vzdálenost fokusu a pravidelnou preventivní kontrolu. Integrace je jednoduchá, ale tepelný profil musí být přizpůsoben konkrétnímu typu fotorezistu a substrátu. Před zahájením hromadné výroby je potřeba provést krátkou kalibraci, aby byly parametry nastaveny správně.