الحفاظ على نظافة غرفة العمليات من الدرجة 100
في عالم تصنيع الرقائق، فإن وجود حبة غبار واحدة ليس مجرد مشكلة بسيطة، بل إنه يمكن أن يدمر دفعة كاملة من الرقائق. إنه أمر مزعج للغاية. معظم عناصر التسخين تشكل مشكلة في هذه البيئات، لأنها تفرز غازات أو جسيمات في الوقت الذي لا نريدها فيه أن تفعل ذلك.
لذلك، نستخدم مصابيح الكوارتز الاصطناعية عالية النقاء. فهي لا تسبب أي مشاكل من هذا النوع.
خصائص الكوارتز
نستخدم السيليكا المنصهرة، والتي يمكنها تحمل الحرارة دون أن تتكرست. إذا استخدمنا زجاجًا رخيصًا أو كوارتزًا منخفض الجودة، فإن الأنابيب ستبدأ في التشقق أو إنتاج الغبار أثناء التسخين والتبريد. وهذا أمر غير مقبول.
أنابيبنا تظل ناعمة دائمًا. وبما أن الإشعاع تحت الأحمر يصيب الرقاقة مباشرة، فلا يوجد وسيط يمكن أن يؤدي إلى دخول شوائب إلى سطح الرقاقة.
التكيف مع أدوات التصنيع
أدوات التصنيع الخاصة بأشباه الموصلات محدودة المساحة. نحن نعرف ذلك، لذلك قمنا بتعديل تصميم الفتيلات حتى يتم توزيع الحرارة بشكل متساوٍ على الرقاقة. لا توجد نقاط ساخنة، ولا توجد تدرجات غريبة في درجة الحرارة، والأهم من ذلك، لا يحدث تشوه في الرقاقة أثناء عملية التسخين.
كما نهتم كثيرًا بختم الأنابيب. نحن نتأكد من أن غاز الهالوجين يظل داخل المصباح، ولا يخرج إلى الفراغ المحيط به.
لكن هناك مشكلة: هذه الختمات صارمة للغاية. إذا فشل أحد الختمات، فإن المصباح سيتعطل بسرعة. إنه توازن صعب. نفضل أن يتعطل المصباح بسرعة، بدلاً من السماح بتسرب الغازات وتدمير غرفة العمليات. لذلك، يجب التعامل مع هذه الختمات بعناية. التوجيه الدقيق أمر مهم لتجنب تعريض الكوارتز لضغوط زائدة.
تشغيل المصابيح
توصيل هذه المصابيح بأجهزة التحكم PID الموجودة لديك أمر بسيط. وبما أن الكوارتز لا يحتفظ بالحرارة لفترة طويلة، فإن المصابيح تسخن وتبرد بسرعة. هذا يمنحك سيطرة أكبر على درجة حرارة الرقاقة.
عندما يصل المصباح إلى حد الاستخدام الأقصى، يمكنك استبداله بسهولة. إنها عملية بسيطة. ننصح فنييك باستخدام مناديل خالية من الشعيرات ومحلول IPA لتنظيف الأنبوب قبل استخدامه. يجب أن يظل الأنبوب نظيفًا تمامًا، وبذلك يمكنك استخدامه بشكل فعال.