في قاعة التصنيع، يعتمد نجاح رقائق الاستشعار البيولوجي على قدرة النظام على التحكم في درجة الحرارة بدقة. فأي تغير في درجة الحرارة بمقدار 30 درجة مئوية أثناء عملية التسخين قد يؤدي إلى فقدان السيطرة على عرض الخطوط الموجودة على الرقاقة، كما أن تكوّن الجسيمات أثناء عملية التسخين الشديد قد يدمر جودة الرقاقة. لذلك، قمنا بتطوير نظام الأضواء فوق البنفسجية للتخلص من هذه المشاكل.
ما الذي يهم حقًا؟ نستخدم مصادر ضوء من نوع NIR ذات موجات قصيرة، مع استخدام عدسات كوارتزية، بحيث يتم نقل الحرارة مباشرة إلى الرقاقة بسرعة وبشكل دقيق، دون أي تأثيرات سلبية. ونتيجة لذلك، يكون هناك توحيد في درجة الحرارة على سطح الرقاقة بمقدار ±0.1 درجة مئوية، مما يعني أن عمليات التسخين المختلفة تؤدي إلى نفس النتائج في كل دفعة من الرقائق. كما أن الجهاز يعمل على مدار 24 ساعة دون أي توقف غير مخطط له، ولا ينتج أي جسيمات، وهو متوافق تمامًا مع معايير الغرف النظيفة من الفئة 1 إلى 100.
لماذا يناسب هذا النظام صناعة أجهزة الاستشعار البيولوجي؟ يتطلب تصنيع أجهزة الاستشعار البيولوجي استخدام أغشية رقيقة وتفاصيل دقيقة، وقد يتأثر الفوتوريزست بشكل سلبي إذا لم تكن درجة الحرارة مستقرة أثناء عملية التسخين. تساعد أضواءنا في الحفاظ على استقرار درجة الحرارة، مما يجعل عمليات الطباعة والنقش دقيقة للغاية، ويقلل من تغيرات الاتساع ويحسن من جودة الخطوط الموجودة على الرقاقة. كما أن السرعة العالية في التسخين تقلل من وقت الإنتاج، دون التأثير على دقة العملية، ويساعد ذلك في خفض تكلفة إنتاج كل رقاقة. والنتيجة هي ارتفاع معدل النجاح في الإنتاج الأولي، وتقليل عدد عمليات إعادة الإنتاج.
ما الذي يجب مراقبته؟ إن إخراج الضوء يعتمد على مسافة المصدر من الرقاقة، بالإضافة إلى مدى نظافة العدسات الكوارتزية. لذلك، يحتاج الجهاز إلى فجوة تركيز ثابتة، بالإضافة إلى فحوصات دورية للتأكد من سلامة الجهاز. التركيب سهل، لكن يجب أن تتناسب درجة الحرارة مع نوع الفوتوريزست ونوع الرقاقة المستخدمة. يجب إجراء اختبارات قصيرة للتأكد من صحة إعدادات الجهاز قبل البدء في الإنتاج الكمي.