في قاعة التصنيع، يمكن لأي اختلاف في درجة الحرارة بمقدار 0.5 درجة مئوية أن يؤدي إلى تغيير في عرض الخطوط الناتجة بمقدار نانومترات، كما أن وجود جسيمات صغيرة يمكن أن يدمر كمية كبيرة من المنتجات. لذلك، يجب أن تكون أجهزة التسخين المستخدمة في معالجة الرقائق قادرة على توفير حرارة مستقرة وسريعة بما يكفي لمواكبة سرعة عملية المعالجة. لقد صممنا أجهزة التسخين بالأشعة تحت الحمراء بناءً على هذه الاحتياجات.
ما هو مهم من الناحية التقنية؟ نستخدم مصادر أشعة تحت حمراء ذات موجات قصيرة، مما يسمح بارتفاع درجة الحرارة بسرعة، وبالتالي يمكن الحفاظ على استقرار درجة الحرارة في غضون ثوانٍ قليلة، ويساعد ذلك في الحفاظ على استقرار العملية. تظل درجة الحرارة على سطح الرقاقة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، مما يساعد في الحفاظ على معايير الجودة المطلوبة في عملية الطباعة. تم تصميم أجهزة الإشعاع بحيث تعمل بشكل موحد على كامل سطح الرقاقة، كما أن أسطح الغرفة تظل باردة، مما يقلل من تكون الجسيمات. كما أن هذه الأجهزة متوافقة مع معايير الغرف النظيفة من الدرجة 1 إلى 100، حيث أن المواد المستخدمة لا تطلق غازات كثيرة، والأسطح قابلة للتنظيف، بالإضافة إلى أن تدفق الهواء وإغلاق الفتحات مصممان بشكل يحافظ على مستوى منخفض من الجسيمات.
لماذا يعمل ذلك في الواقع؟ في عملية تجفيف الرقاقات، تساعد أجهزة التسخين بالأشعة تحت الحمراء في تبخير المذيبات بسرعة وبشكل موحد، مما يقلل من وقت التجفيف دون الحاجة إلى تسخين الرقاقة بشكل كامل. وفي عملية تسخين الرقاقات قبل الطباعة، يساعد هذا النوع من الحرارة في الحفاظ على استقرار درجة الحرارة، مما يقلل من الحاجة إلى إعادة المعالجة. والنتيجة هي معايير جودة أفضل، وعدد أقل من العيوب، بالإضافة إلى زيادة الكفاءة في الإنتاج. كما أن استهلاك الطاقة يقل أيضًا، لأن الجهاز يعمل فقط عند الحاجة إليه، مما يقلل من الخسائر. يتم قياس موثوقية الجهاز من خلال الأداء المستقر على المدى الطويل، وفترات الصيانة المحددة مسبقًا، وليس من خلال الإعلانات التسويقية.
ما يجب معرفته؟ تتميز هذه الأجهزة بقدرتها على العمل بشكل فعال، لكن من المهم تحقيق التوافق مع مسار الرقاقة واستراتيجية التهوية. عملية التشغيل سريعة، لكن يجب ضبط قوة اللمبة ومعدل الإشعاع وآليات التحكم في درجة الحرارة بما يتناسب مع متطلبات العملية. العمل باستمرار عند أقصى درجة حرارة يقلل من عمر الجهاز، لذا يجب تحديد دورات العمل ومعدلات التغيير في درجة الحرارة بما يتناسب مع خطوات العملية. كما يجب التأكد من توافق الجهد والمواصفات الخاصة بالوصلات مع المنصة المستخدمة، بالإضافة إلى التأكد من توافق الأجهزة مع بعضها البعض قبل استخدامها في الإنتاج.