Kimyasal Temizleme İşlemlerinde Kızılötesi Isıtma Yöntemiyle Güvenliği Sağlama
Yarı iletken üretim tesislerinde kimyasal temizleme işlemleri yapıldığında, açıkçası, bu işlemlerde kullanılan çözücülerin kıvılcım alması durumunda ciddi tehlikeler ortaya çıkabilir. Bu tür alanlarda küçük bir sızıntı bile sadece bakım açısından sorun yaratmakla kalmaz; aynı zamanda patlama riskini de beraberinde getirir.
İşte bu yüzden kablolarla oynamayız. Gücün doğru yerde kalmasını sağlamak için kızılötesi lambalarımızda özel Teflon (PTFE) malzemeler ve hermetik kaplamalar kullanırız.
Neden bu malzemeler önemli?
Standart kablolar, aşındırıcı kimyasal buharlara dayanamaz. Bu buharlar kabloların izolasyonunu bozar ve sonuç olarak ince, çatlamış kablolar oluşur; bu da kısa devre riskini artırır.
Biz ise Teflon kaplamalı kablolar kullanırız; çünkü bu malzemeler bu kimyasallardan etkilenmez. Böylece kablolar güçlü kalır ve elektrik akımı da içinde kalmış olur.
Ancak biz daha da ileri gideriz. Sadece kabloları sararak işi bitirmeyiz; bağlantı noktalarını yüksek sıcaklıklara dayanıklı reçinelerle kaplarız. Bu sayede elektrik terminalleri etrafında bir “kale” oluşur. Eğer bir kimyasal madde bu üniteye temas ederse, PTFE bariyeri tarafından engellenir. Böylece elektrik akımı bu bariyere ulaşamaz.
Tavizler ve bunların nasıl giderileceği
Dürüst olmak gerekirse, bu koruyucu katmanların eklenmesi biraz termal engel oluşturur. Tamamen açık bir kuvars tüpüne kıyasla doğrudan kızılötesi ısı miktarı biraz azalır.
Bu bir tavizdir, ancak güvenlik açısından kaçınılmazdır. Waferlerin hedef sıcaklığa zamanında ulaşmasını sağlamak için lambaların gücünü artırırız. Böylece hem güvenliği sağlamış olursunuz hem de üretim sürenizi bozmazsınız. Çok basit.
Gerçek dünyadaki güvenilirlik
Ayrıca, montaj sırasında neler olabileceğini de düşündük. Teflon kabloların ısıtıcı gövdesinden çıktığı yerlerde güçlendirilmiş yapılar ekledik. Böylece ekibiniz rutin bakım işlemleri yaparken kabloların aşınmasını veya kopmasını engelleyebilirsiniz. Ayrıca PTFE kaplama esnek olduğundan, kabloları dar alanlarda bile bükmeniz mümkündür.
Eğer sisteminiz 24/7 aşındırıcı bir ortamda çalışıyorsa, ısıtıcının zincirin en zayıf halkası olmaması gerekir. Bu seçenekler size biraz olsun güven verir.