Wafer’lerin Doğru Şekilde Kurutulması (Tozsuz Olarak)
Eğer MEMS sensör üretimi konusunda çalıştıysanız, bu durumun ne kadar kötü olabileceğini biliyorsunuz: Wafer üzerine düşen küçük bir toz parçası bile tüm ürünlerin kullanılamaz hale gelmesine neden olur. Bu oldukça sinir bozucu bir durumdur. Çoğu zaman sorunun kaynağı ısıtıcı elemanlardır. Eski metal kaplı ısıtıcılar, temiz kalmaları gereken anda parçalanabilir veya gaz salabilirler.
İşte bu yüzden yüksek saflıkta sentetik kuvars IR lambalarını tercih ediyoruz. Bunlar hiçbir şekilde parçalanmaz; ne parça oluşur, ne de gizemli partiküller ortaya çıkar. Böylece waferler zarar görmmez.
Kuvarsın Neden İşe Yaradığı
Yüksek saflıkta silikanın en iyi özelliği, aşırı sıcaklıklara dayanabilmesidir. Aşırı ısı etkisi altında bile çatlamaz. Ancak asıl mühim olan nokta, ısı yayılım şeklidir. IR ışınları doğrudan wafer yüzeyine ulaşır. Nemin uzaklaştırılması için ısıtlı hava kullanılmasına gerek yoktur; bu da harika bir şeydir, çünkü hava aslında tozların taşınmasında rol oynar.
Ayrıca tüpün içinde halojen devresi de bulunur. Bu sayede filamentin buharlaşması engellenir ve böylece cam kristalin iç kısmı berrak kalır. Bu da lambaların daha uzun süre kullanılmasını sağlar. Böylece tüm wafer üzerinde sabit ve güvenilir bir ısı elde edilir.
Dikkat Edilmesi Gereken Hususlar
Bu lambalar oldukça kompakttır ve dar alanlara sığarlar. Odanın ihtiyaç duyduğu güç yoğunluğuna göre lambaların uzunluğu ve gücü ayarlanabilir.
Ancak güç kaynağı konusunda dikkatli olmalısınız. Yüksek güçlü IR lambalar çok fazla elektrik tüketir. Eğer birden fazla lamba kullanıyorsanız, elektrik panelinizin maksimum yükü kaldırabileceğinden emin olun. Aksi takdirde her seferinde sigortalar atabilir.
Ayrıca lütfen PID kontrol cihazı kullanın. Hedef sıcaklığın üzerine çıkarsanız, ince MEMS membranlarının deforme olma riski vardır ve bu durumu düzeltmek mümkün değildir.
Gerçek Dünyada Kullanımı
Sonuç olarak, tek istediğiniz kuru, hızlı ve steril bir yüzeydir. Bu lambalar bunu mümkün kılar. Isıtma süreçleri çok hızlı olduğundan, waferlerin kuruma süresi azalır. Bu da daha az su lekesi ve kimyasal kalıntı demektir.
Eski bir sistemde iyileştirme yapacaksanız, bu lambaları yerleştirmek oldukça kolaydır. Sadece bir ipucu: Montaj braketlerine dikkat edin. Camı çok sıkı sıkmayın. Aşırı mekanik gerilim olursa, tüp ısıyla genişlerken kırılabilir.